[实用新型]一种硅片非接触输送装置

说明书

本实用新型公开了一种硅片非接触输送装置，包括第一滚轴固定座、第二滚轴固定座、伺服电机、支架，以及位于第一滚轴固定座内的两个以上的第一滚轴，位于第二滚轴固定座内的内的两个以上的第二滚轴；第一滚轴固定座与第二滚轴固定座首尾相接，第一滚轴固定座的首端外壁与第二滚轴固定座尾端内壁相接触，通过贯穿的主动轴进行连接，主动轴通过伺服电机驱动旋转；第一滚轴固定座的首端设有一个第一滚轴，主动轴贯穿该第一滚轴；相邻的两个滚轴之间依次通过皮带连接，通过主动轴旋转驱动所有的滚轴进行旋转，从而将滚轴上方的硅片进行输送。

技术领域

本实用新型涉及硅片输送设备，特别是一种硅片非接触输送装置。

背景技术

现有刻蚀下料工艺中，采用皮带与硅片直接接触产生的摩擦力来传送硅片，硅片输送过程中皮带容易对硅片表面造成污染，且需要频繁清洗皮带，增加作业强度，降低产能。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是针对现有技术的不足，提供一种硅片与皮带非接触的输送装置，减少硅片摩擦。

为了解决上述技术问题，本实用新型公开了一种硅片非接触输送装置，包括第一滚轴固定座、第二滚轴固定座、伺服电机、支架，以及位于第一滚轴固定座内的两个以上的第一滚轴，位于第二滚轴固定座内的内的两个以上的第二滚轴；

所述第一滚轴固定座与第二滚轴固定座首尾相接，第一滚轴固定座的首端外壁与第二滚轴固定座尾端内壁相接触，通过贯穿的主动轴进行连接，主动轴通过伺服电机驱动旋转；第一滚轴固定座的首端设有一个第一滚轴，主动轴贯穿该第一滚轴；相邻的两个滚轴之间依次通过皮带连接，通过主动轴旋转驱动所有的滚轴进行旋转，从而将滚轴上方的硅片进行输送；

第一滚轴固定座与第二滚轴固定座首尾相接处通过底部的支架进行支撑。

进一步地，第一滚轴和第二滚轴的两端设有凹槽，相邻的两个滚轴通过嵌入在凹槽内皮带依次相连。

优选地，第一滚轴和第二滚轴材质为聚丙烯，表面处理光滑，不会对硅片造成划痕或污染。

优选地，所述主动轴通过联轴器与伺服电机的输出轴相连接。

优选地，所述伺服电机通过安装在与支架平行的电机固定座上。

有益效果：

本实用新型通过皮带依次相连的滚轴实现对硅片的运输，硅片不与皮带之间接触，解决了皮带对硅片的摩擦问题，在不影响效率的前提下减少了硅片污染率，同时减轻了作业人员的劳动强度；该输送装置结构紧凑，运行稳定、成本低、寿命高，在实际生产中已得到验证，设备碎片率降低到0.02％，机动率在100％，可以在刻蚀上下料机等设备上使用。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型做更进一步的具体说明，本实用新型的上述和/或其他方面的优点将会变得更加清楚。

图1是该输送装置的整体结构立体图；

图2是该输送装置的俯视图；

图3是该输送装置的侧视图。

具体实施方式

根据下述实施例，可以更好地理解本发明。

说明书附图所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容所能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“前”、“后”、“中间”等用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本实用新型可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本实用新型可实施的范畴。