[实用新型]一种设有偏心卡钉的石墨舟有效
申请号: | 201822150058.0 | 申请日: | 2018-12-19 |
公开(公告)号: | CN209418526U | 公开(公告)日: | 2019-09-20 |
发明(设计)人: | 王建康 | 申请(专利权)人: | 杭州大和热磁电子有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/673;C23C16/458 |
代理公司: | 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 | 代理人: | 尉伟敏 |
地址: | 310053 浙江省杭*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 石墨舟 偏心卡 压入部 卡钉 本实用新型 卡接部 压入孔 适配 偏心设置 制造成本 调整卡 硅片 对边 | ||
1.一种设有偏心卡钉的石墨舟,其特征是,包括卡钉本体和石墨舟本体,包括卡钉本体和石墨舟本体,卡钉本体包括压入部和卡接部,压入部与卡接部偏心设置,石墨舟本体上设有多个压入孔,所述压入孔与压入部适配。
2.根据权利要求1所述的一种设有偏心卡钉的石墨舟,其特征是,所述石墨舟本体上设有三个压入孔,三个压入孔成三角分布。
3.根据权利要求1或2所述的一种设有偏心卡钉的石墨舟,其特征是,所述卡钉本体上设有第一标记槽,石墨舟本体上设有多个第二标记槽,第二标记槽沿压入部中心周向分布。
4.根据权利要求3所述的一种设有偏心卡钉的石墨舟,其特征是,所述卡钉本体上设有调节孔,调节孔中心与压入部中心重合。
5.根据权利要求1或2所述的一种设有偏心卡钉的石墨舟,其特征是,所述压入孔内设有多个卡配槽,卡配槽沿压入孔周向分布,压入孔内设有卡配槽,卡配块与卡配槽适配。
6.根据权利要求1或2所述的一种设有偏心卡钉的石墨舟,其特征是,所述卡钉本体包括两个卡接部,两个卡接部设置在压入部的两个相对端面上。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
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H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
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H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的