[实用新型]一种设有偏心卡钉的石墨舟有效
申请号: | 201822150058.0 | 申请日: | 2018-12-19 |
公开(公告)号: | CN209418526U | 公开(公告)日: | 2019-09-20 |
发明(设计)人: | 王建康 | 申请(专利权)人: | 杭州大和热磁电子有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/673;C23C16/458 |
代理公司: | 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 | 代理人: | 尉伟敏 |
地址: | 310053 浙江省杭*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 石墨舟 偏心卡 压入部 卡钉 本实用新型 卡接部 压入孔 适配 偏心设置 制造成本 调整卡 硅片 对边 | ||
本实用新型公开了一种设有偏心卡钉的石墨舟,包括卡钉本体和石墨舟本体,卡钉本体包括压入部和卡接部,压入部与卡接部偏心设置,石墨舟本体上设有多个压入孔,所述压入孔与压入部适配。本实用新型提供了一种设有偏心卡钉的石墨舟,实现不更换石墨舟和卡钉,仅调整卡钉安装角度就能适配出不同对边距的硅片的功能;且具有切换时间短,结构简单,降低制造成本等优点。
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池制造领域,尤其是涉及一种设有偏心卡钉的石墨舟。
背景技术
太阳能电池生产制造过程中,在PECVD镀膜工序时需要将硅片插入石墨载片上送入炉管中淀积蓝膜。石墨载片上嵌入卡钉,卡钉位置固定后决定了所要固定的加工硅片边距的尺寸。为适应现有太阳能市场不同封装、加工要求,目前常用硅片对边距有156mm、156.75mm、158.75mm、甚至大到160mm等规格。一般PECVD工序中,石墨舟和卡钉的尺寸与加工插片的尺寸一一对应。若同一个PECVD工序要切换加工不同尺寸的硅片,需要拆换不同尺寸的石墨舟,石墨舟切换后需要预处理后才能进行使用,这很大程度上增加了产品切换时间,使不同产品切换需要付出较多的工时代价;同时石墨舟的成本较高,准备多个尺寸的石墨舟需要较大的成本投入。
中国专利申请公开号CN202695404U,公开日为2013年01月23日,名称为“石墨舟及其石墨舟片”,公开了一种石墨舟,包括石墨舟片和连接块,石墨舟片包括间隔设置的若干第一石墨舟片和若干第二石墨舟片,第一石墨舟片的一端设置有第一接线凸耳,第二石墨舟片的一端设置有第二接线凸耳,连接块包括设置在相邻两第一接线凸耳之间的第一连接块及设置在相邻两第二接线凸耳之间的第二连接块。但是该装置为针对上述问题进行优化,仍存在上述问题。
发明内容
本实用新型为了克服现有技术中的不足,提供一种设有偏心卡钉的石墨舟,实现不更换石墨舟和卡钉,仅调整卡钉安装角度就能适配出不同对边距的硅片的功能;且具有切换时间短,结构简单,降低制造成本等优点。
为了实现上述目的,本实用新型采用以下技术方案:
一种设有偏心卡钉的石墨舟,包括卡钉本体和石墨舟本体,卡钉本体包括压入部和卡接部,压入部与卡接部偏心设置,石墨舟本体上设有多个压入孔,所述压入孔与压入部适配。上述技术方案中,通过转换卡钉本体的安装角度,可以使一种石墨舟本体适配不同尺寸的硅片,减少了需要的石墨舟本体的数量,节约了成本。同时,石墨舟本体的预处理需要大量的时间,由于切换尺寸时不需要更换石墨舟本体,只需要切换卡钉本体的安装角度,因此大大减少了切换时间。 通过旋转卡钉本体,使卡接部绕压入部中心转动,当卡接部偏向硅片侧时,适用小对边硅片,卡接部旋向远离硅片侧时适用于大对边硅片,单个卡钉可调范围为偏心距的2倍,一对卡钉可调范围为4倍偏心距。例如用1mm偏心距卡钉就可以有4mm的调节尺寸。一个石墨舟本体上可以安装多个硅片,只需要简单增加对应的硅片安装工位即可。
作为优选,所述石墨舟本体上设有三个压入孔,三个压入孔成三角分布。石墨舟本体2嵌入三个卡钉本体,三个卡钉本体分别与硅片的三条边接触定位,卡钉本体位置固定后形成定性区,定性区的大小决定了所要固定的加工硅片的尺寸。三个卡钉本体可以刚好将一片硅片准确定位,不会缺定位也不会过定位。
作为优选,所述卡钉本体上设有第一标记槽,石墨舟本体上设有多个第二标记槽,第二标记槽沿压入部中心周向分布。所述第二标记槽可以标记出不同的尺寸对应的位置,将第一标记槽对准不同的第二标记槽可以得到适配不同尺寸硅片的定位区。
作为优选,所述卡钉本体上设有调节孔,调节孔中心与压入部中心重合。所述调节孔为内六角形,可以方便内六角扳手插入,对卡钉本体进行旋转,调节卡钉本体的安装角度,从而改变卡接部位置,进而可以适配不同大小的硅片。所述结构方便了卡钉本体安装角度的切换,不需要将卡钉本体取出后转角度安装,节省了切换时间。
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