[实用新型]一种全自动晶片刷洗机

权利要求书

1.一种全自动晶片刷洗机，包括工作台(1)、中央传片机械手组件(2)、第一刷洗组件(3)、第二刷洗组件(4)、第一进料载台组件(5)、第二进料载台组件(6)、第一出料载台组件(7)和第二出料载台组件(8)，其特征在于：所述中央传片机械手组件(2)设置在工作台(1)的中央，所述第一进料载台组件(5)和第二进料载台组件(6)对称设置在中央传片机械手组件(2)的一侧，所述第一出料载台组件(7)和第二出料载台组件(8)对称设置在中央传片机械手组件(2)的另一侧，所述第一进料载台组件(5)和第一出料载台组件(7)呈对称分布，所述第二进料载台组件(6)和第二出料载台组件(8)呈对称分布，所述第一刷洗组件(3)、第二刷洗组件(4)、第一进料载台组件(5)、第二进料载台组件(6)、第一出料载台组件(7)和第二出料载台组件(8)分别通过螺栓固定在工作台(1)上，所述第一刷洗组件(3)和第二刷洗组件(4)分别设置在中央传片机械手组件(2)的另外两侧，所述第一刷洗组件(3)和第二刷洗组件(4)分别通过螺栓固定在工作台(1)上。

2.根据权利要求1所述的一种全自动晶片刷洗机，其特征在于：所述中央传片机械手组件(2)包括旋转电机(201)、气缸(202)、固定座(203)、滑轨(204)、第一滑块(205)、第一臂(206)和第二臂(207)，所述旋转电机(201)通过螺栓固定在固定座(203)的底部，所述旋转电机(201)的输出轴穿过固定座(203)与滑轨(204)通过键连接，所述气缸(202)通过螺栓固定在滑轨(204)的一端，所述气缸(202)的活塞杆与第一滑块(205)的一侧连接，所述第一滑块(205)与滑轨(204)滑动连接，所述第一臂(206)通过螺栓固定在第一滑块(205)的上部，所述第一臂(206)与第二臂(207)卡接并通过螺栓固定。

3.根据权利要求1所述的一种全自动晶片刷洗机，其特征在于：所述第一刷洗组件(3)包括真空吸盘(301)、毛刷刷头(302)、第二滑块(303)、毛刷压力调节杆(304)、伺服电机(305)、刷洗喷水管(306)、水气二流喷嘴(307)、刷洗槽(308)、刷片旋转电机(309)、方形槽(310)、丝杆(311)和滑槽(312)，所述方形槽(310)设置在真空吸盘(301)上方，两组所述滑槽(312)对称设置在方形槽(310)的两侧，所述丝杆(311)通过轴承固定在方形槽(310)内，所述第二滑块(303)与真空吸盘(301)滑动连接，所述毛刷压力调节杆(304)安装在第二滑块(303)上部，所述毛刷刷头(302)安装在第二滑块(303)的底部，所述伺服电机(305)的输出轴与丝杆(311)通过键连接，所述丝杆(311)与第二滑块(303)传动连接，所述刷洗槽(308)设置在真空吸盘(301)的外侧，所述刷洗喷水管(306)设置在刷洗槽(308)的一侧，所述水气二流喷嘴(307)设置在刷洗槽(308)的另一侧，所述水气二流喷嘴(307)与刷洗喷水管(306)连接，所述刷片旋转电机(309)通过螺栓固定在第二滑块(303)内部，所述刷片旋转电机(309)的输出轴与毛刷刷头(302)通过键连接。