[实用新型]一种多源共蒸发取样装置及多源共蒸发镀膜系统

说明书

本实用新型涉及一种多源共蒸发取样装置及多源共蒸发镀膜系统，所述多源共蒸发镀膜系统包括真空蒸发腔和设于所述真空蒸发腔内的至少一个金属蒸发源，所述多源共蒸发取样装置包括至少一个取样单元，所述取样单元与所述金属蒸发源一一对应，所述取样单元设于所述真空蒸发腔的外壁，所述取样单元内设有与所述真空蒸发腔连通的取样通道，所述取样通道的底部设有载玻片容纳槽，所述载玻片容纳槽内可拆卸地设有载玻片，所述载玻片与所述取样通道的轴线垂直。本申请中的多源共蒸发取样装置取样路径便捷，取样速度较快，取样结果准确，提高了取样的质量，进而提高了数据监测的准确性，极大地提高了对金属蒸发源的控制质量，达到提高镀膜质量的目的。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池技术领域，尤其涉及一种多源共蒸发取样装置及多源共蒸发镀膜系统。

背景技术

目前针对不可再生能源的紧缺，人们正在积极寻求各种可再生能源加以替代。这些可再生能源中尤以太阳能为最优，太阳能取之不尽、用之不竭，近年来针对太阳能的利用发展势头很好，也取得了相当大的进展。太阳能的利用方式中，最典型的莫过于太阳能发电，用于太阳能发电的太阳能电池多为膜状结构，这些膜需要针对其特点进行分层的镀制。镀膜的方式很多，其中多源共蒸发镀膜是一种发展很好，且所镀膜的性能和稳定性也较好的镀膜方式。但是其也存在一些亟待解决的缺陷，例如多源共蒸发镀膜的生产过程中的工艺技术参数检测对镀膜工艺的控制和镀膜后的产品存在较大影响，但是目前的参数检测多是采用X射线荧光光谱分析法，这种方法需要待产品完成镀膜后离开机台后再进行检测，存在一定的滞后性；且并没有针对每个蒸发源进行检测，不利于对每个蒸发源的精确控制。

因此，需要提供一种多源共蒸发取样装置及多源共蒸发镀膜系统来解决现有技术的不足。

实用新型内容

为了解决现有技术中的问题，本实用新型提供了一种多源共蒸发取样装置及多源共蒸发镀膜系统。

一种多源共蒸发取样装置，用于多源共蒸发镀膜系统，所述多源共蒸发镀膜系统包括真空蒸发腔和设于所述真空蒸发腔内的至少一个金属蒸发源，所述多源共蒸发取样装置包括至少一个取样单元，所述取样单元与所述金属蒸发源一一对应，所述取样单元设于所述真空蒸发腔的外壁，所述取样单元内设有与所述真空蒸发腔连通的取样通道，所述取样通道的底部设有载玻片容纳槽，所述载玻片容纳槽内可拆卸地设有载玻片，所述载玻片与所述取样通道的轴线垂直。

进一步的，所述取样单元设于与之对应的所述金属蒸发源的上方；所述取样单元和与之对应的所述金属蒸发源的距离小于其和其他金属蒸发源的距离。

进一步的，所述真空蒸发腔设有取样孔，所述取样通道通过所述取样孔与所述真空蒸发腔连通。

进一步的，取样单元包括沿远离所述真空蒸发腔方向依次同轴连接的固定底座、第一法兰、主体支架、第二法兰和封堵件；

所述固定底座、所述第一法兰、所述主体支架和所述第二法兰分别设有通孔，所述固定底座的通孔、所述第一法兰的通孔、所述主体支架的通孔和所述第二法兰的通孔分别与所述取样孔同轴，所述固定底座的通孔、所述第一法兰的通孔、所述主体支架的通孔和所述第二法兰的通孔组成所述取样通道；

所述封堵件与所述第二法兰的通孔连接以密封所述取样通道。

进一步的，所述封堵件包括同轴连接的封堵柱和封堵帽；

所述封堵柱的直径小于或等于所述第二法兰的通孔的内径，所述封堵帽的直径大于所述第二法兰的通孔的内径，所述封堵柱设有所述第二法兰的通孔内，所述封堵帽的第一表面与所述第二法兰的第一表面连接；

所述封堵帽的第一表面与所述第二法兰的第二表面间设有密封圈；

所述载玻片容纳槽设于所述封堵柱远离所述封堵帽的一端。

进一步的，所述第二法兰的外壁设有真空管，所述第二法兰内设有真空通道；