[实用新型]真空镀膜传送装置

权利要求书

1.一种真空镀膜传送装置，其特征在于：包括两个相互平行设置的传输架，各所述传输架的相对的一侧设置有两个传送轮，每个所述传输架的两个传送轮上缠绕有传输带，且每个所述传输架上的传送轮通过传输带同步转动；所述传输架上设置有一个以上用于支撑所述传输带的凸轮轴承随动器，所述凸轮轴承随动器设置于每个传输架上的传送轮之间；每个所述凸轮轴承随动器的侧表面与两个所述传送轮的公切的传输带相切。

2.如权利要求1所述的真空镀膜传送装置，其特征在于：所述传输架上还设置有同步传动机构，包括设置在各所述传输架上的第一传动轮和第二传动轮，及连接两个所述传输架的传动杆，两个所述第一传动轮分别设置于传动杆两端；各所述传输架上，所述第二传动轮与其中一个所述传送轮同轴连接；各所述传输架上，所述第一传动轮与第二传动轮之间通过传动带连接。

3.如权利要求2所述的真空镀膜传送装置，其特征在于：还包括有驱动组件，所述驱动组件包括依次连接的万向接头，磁流体密封件及电机，所述万向接头远离磁流体密封件的一端与所述第一传动轮或第二传动轮连接。

4.如权利要求2所述的真空镀膜传送装置，其特征在于：所述第一传动轮与第二传动轮为链轮，所述传动带与所述第一传动轮及第二传动轮相啮合。

5.如权利要求2所述的真空镀膜传送装置，其特征在于：所述传动杆与所述传输架垂直设置，且所述传动杆有两个，分别为在两所述传输架之间平行的第一传动杆及第二传动杆，两所述传输架上的第一传动轮分别连接于所述第一传动杆的两端。

6.如权利要求5所述的真空镀膜传送装置，其特征在于：各所述传输架上所述传送轮分别设置于传输架的两端，所述第二传动杆设置于传输架的端部，且所述第二传动杆的两端分别与两所述传输架上对应的传送轮同轴连接。

7.如权利要求2所述的真空镀膜传送装置，其特征在于：所述传输架上设置有微型法兰轴承，所述传动杆通过所述微型法兰轴承与所述传输架固定位置。

8.如权利要求1所述的真空镀膜传送装置，其特征在于：所述传输架上设置有位置传感器。

9.如权利要求1所述的真空镀膜传送装置，其特征在于：所述传输带为传送钢带。

10.如权利要求1所述的真空镀膜传送装置，其特征在于：所述装置还包括有设置在两传送轮之间的张紧轮，所述传输带绕过两个传送轮及张紧轮首尾相接。