[实用新型]真空镀膜传送装置

说明书

本实用新型提供了一种真空镀膜传送装置，包括两个相互平行设置的传输架，各传输架的相对的一侧设置有两个传送轮，每个传输架的两个传送轮上缠绕有传输带，且每个传输架上的传送轮通过传输带同步转动；传输架上设置有一个以上用于支撑传输带的凸轮轴承随动器，凸轮轴承随动器设置于每个传输架上的传送轮之间；每个凸轮轴承随动器的一侧表面与两个传送轮的公切线相切。本实用新型中安装简单方便，通过凸轮轴承随动器减小传送过程的摩擦，结合U型传输架及钢带，在节省空间的同时，传动更高效。

技术领域

本实用新型属于真空蒸镀技术领域，尤其涉及一种真空镀膜传送装置。

背景技术

有机发光显示屏，0LED，即有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode)，又称为有机电激光显示(Organic Electroluminesence Display，0ELD)。因为具备轻薄、省电等特性，被广泛应用。OLED基片在进行蒸镀的过程中需要在真空腔体中有效的传送，由于在真空环境对传动部件的要求较高，大多数动能损耗较多，传送结构设计过程中配置多采用非标加工件作为传动主要部件，其磨损情况较为频繁，很容易导致传送结构后期维护周期长，成本高。同时，过多的传动步骤也会导致精准度的降低，增加传动精度控制的难度。

实用新型内容

为了解决现有技术的不足，本实用新型提供了一种真空镀膜传送装置。

本实用新型的目的通过以下技术方案来实现：

一种真空镀膜传送装置，包括两个相互平行设置的传输架，各所述传输架的相对的一侧设置有两个传送轮，每个所述传输架的两个传送轮上缠绕有传输带，且每个所述传输架上的传送轮通过传输带同步转动；所述传输架上设置有一个以上用于支撑所述传输带的凸轮轴承随动器，所述凸轮轴承随动器设置于每个传输架上的传送轮之间；每个所述凸轮轴承随动器的侧表面与两个所述传送轮的公切的传输带相切。

优选地，所述传输架上还设置有同步传动机构，包括设置在各所述传输架上的第一传动轮和第二传动轮，及连接两个所述传输架的传动杆，两个所述第一传动轮分别设置于传动杆两端；各所述传输架上，所述第二传动轮与其中一个所述传送轮同轴连接；各所述传输架上，所述第一传动轮与第二传动轮之间通过传动带连接。

优选地，还包括有驱动组件，所述驱动组件包括依次连接的万向接头，磁流体密封件及电机，所述万向接头远离磁流体密封件的一端与所述第一传动轮或第二传动轮连接。

优选地，所述第一传动轮与第二传动轮为链轮，所述传动带与所述第一传动轮及第二传动轮相啮合。

优选地，所述传动杆与所述传输架垂直设置，且所述传动杆有两个，分别为在两所述传输架之间平行的第一传动杆及第二传动杆，两所述传输架上的第一传动轮分别连接于所述第一传动杆的两端。

优选地，各所述传输架上所述传送轮分别设置于传输架的两端，所述第二传动杆设置于传输架的端部，且所述第二传动杆的两端分别与两所述传输架上对应的传送轮同轴连接。

优选地，所述传输架上设置有微型法兰轴承，所述传动杆通过所述微型法兰轴承与所述传输架固定位置。

优选地，所述传输架上设置有位置传感器。

优选地，所述传输带为传送钢带。

优选地，所述装置还包括有设置在两传送轮之间的张紧轮，所述传输带绕过两个传送轮及张紧轮首尾相接。

本实用新型的有益效果体现在：本实用新型中安装简单方便，通过凸轮轴承随动器减小传送过程的摩擦，所述凸轮轴承随动器为无油部件，在真空和环境中无需进行无油处理，不需要额外去油后重新涂抹硅脂达到真空环境预期的效果，缩短了抽真空的时间，提高了工作效率。

附图说明

图1：本实用新型的立体结构示意图。