[实用新型]一种空间六自由度微动平台

说明书

本实用新型公开了一种空间六自由度微动平台，包括静平台，动平台，柔性铰链和薄片驱动器；静平台和动平台之间设置有环形柔性铰链；环形柔性铰链的上端面上竖直设置有上层柔性铰链；环形柔性铰链的下端面上竖直设置有下层柔性铰链；环形柔性铰链内设置有十字形柔性铰链；十字形柔性铰链的四个支脚的下端面均设置有压电薄片驱动器A；十字形柔性铰链的四个支脚的相同方向的侧面上均设置有压电薄片驱动器B；十字形柔性铰链的一个支脚的另外一侧面设置有压电薄片驱动器C；与压电薄片驱动器C相邻的一个支脚的另外一侧面设置有压电薄片驱动器D。本实用新型结构紧凑，体积较小；采用压电薄片驱动器驱动，具有双向运动控制能力；实现空间六自由度调整。

技术领域

本实用新型涉及一种微动平台，尤其是一种在空间六自由度调整的紧凑型微动平台。

背景技术

精密微动平台在微电子工程，光学精密工程，高精度制造系统，纳米科学与技术等领域有着重要应用。压电微动平台因其精度高、无摩擦、控制方法简单和结构紧凑等优点。目前现有技术中的微动平台基本结构主要由静平台，动平台，柔性铰链，压电驱动器四部分组成，传统的6自由度平台法向一般采用6支杆结构，6压电堆栈的结构，具有体积比较大的缺点。

实用新型内容

本实用新型目的是：提供一种可以双向运动控制，结构紧凑的，实现空间六自由度调整的微动平台。

本实用新型的技术方案是：一种空间六自由度微动平台，包括静平台，动平台，柔性铰链和薄片驱动器；柔性铰链包括环形柔性铰链，十字形柔性铰链，上层柔性铰链，下层柔性铰链，薄片驱动器包括压电薄片驱动器A，压电薄片驱动器B，压电薄片驱动器C和压电薄片驱动器D；所述静平台和动平台之间设置有环形柔性铰链；所述环形柔性铰链的上端面的边缘上竖直设置有上层柔性铰链，且上层柔性铰链与动平台的下端面连接；所述环形柔性铰链的下端面的边缘上竖直设置有下层柔性铰链，且下层柔性铰链与静平台的上端面连接；所述环形柔性铰链内设置有十字形柔性铰链；所述十字形柔性铰链的四个支脚的下端面均设置有压电薄片驱动器A；所述十字形柔性铰链的四个支脚的相同方向的侧面上均设置有压电薄片驱动器B；所述十字形柔性铰链的一个支脚的另外一侧面设置有压电薄片驱动器C；与压电薄片驱动器C相邻的一个支脚的另外一侧面设置有压电薄片驱动器D。

优选的，所述薄片驱动器为具有伸缩特性的材料。

优选的，所述上层柔性铰链和下层柔性铰链交错分布。

优选的，所述上层柔性铰链有四个，竖向的均匀分布在环形柔性铰链边缘。

优选的，所述下层柔性铰链有四个，竖向的均匀分布在环形柔性铰链边缘。

本实用新型的优点是：

1．设计结构紧凑，体积较小；

2. 采用压电薄片驱动器驱动，具有双向运动控制能力；

3. 实现空间六自由度调整。

附图说明

下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述：

图1为本实用新型一种空间六自由度微动平台的主视结构示意图；

图2为附图1中A-A面的剖视结构示意图；

图3为附图1中B-B面的剖视结构示意图；

图4为本实用新型一种空间六自由度微动平台的立体结构示意图；

图5为本实用新型一种空间六自由度微动平台的压电薄片驱动器A或压电薄片驱动器B8或压电薄片驱动器C9或压电薄片驱动器D10的示意图；

图6为本实用新型一种空间六自由度微动平台的压电薄片驱动器A或压电薄片驱动器B8或压电薄片驱动器C9或压电薄片驱动器D10的通电产生弯矩的示意图；