[实用新型]一种具有修整功能的抛光垫刷盘有效
申请号: | 201822188639.3 | 申请日: | 2018-12-25 |
公开(公告)号: | CN209364390U | 公开(公告)日: | 2019-09-10 |
发明(设计)人: | 王永成 | 申请(专利权)人: | 上海致领半导体科技发展有限公司 |
主分类号: | B24B53/017 | 分类号: | B24B53/017 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 201319 上海市浦东新区*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 刷盘 抛光垫 台阶孔 修整器 背板 弹簧 螺丝 本实用新型 修整 抛光垫修整器 扁圆形结构 清洁度 背板盖 抛光 毛刷 通孔 背面 穿过 伸出 维护 保证 | ||
1.一种具有修整功能的抛光垫刷盘,其特征在于,包括背板、弹簧、修整器、刷盘以及螺丝,所述背板呈扁圆形结构,上面开有若干供所述螺丝穿过的通孔,所述刷盘的正面设有若干毛刷,所述刷盘背面的圆周方向上开有若干台阶孔,各所述台阶孔内用于放置一修整器,所述修整器安装在所述台阶孔内并从所述台阶孔内伸出,所述背板盖合在所述刷盘的背面并通过螺丝将刷盘固定在背板上,各所述台阶孔内设有一弹簧,所述弹簧的一端抵靠在所述修整器上,另一端抵靠在所述背板上。
2.根据权利要求1所述的具有修整功能的抛光垫刷盘,其特征在于,各所述修整器的端面设有用于放置弹簧的槽孔。
3.根据权利要求2所述的具有修整功能的抛光垫刷盘,其特征在于,所述背板的正面设有若干用于固定弹簧的安装槽,所述安装槽的位置与所述槽孔的位置相应。
4.根据权利要求1所述的具有修整功能的抛光垫刷盘,其特征在于,所述台阶孔内设有一凸台,所述修整器的上端边缘设有一凸肋,所述凸台与所述凸肋相配合,以对所述台阶孔内的修整器进行限位。
5.根据权利要求1所述的具有修整功能的抛光垫刷盘,其特征在于,所述刷盘的背面设有若干螺丝孔,所述螺丝孔与所述背板上的通孔数量及位置相应。
6.根据权利要求1所述的具有修整功能的抛光垫刷盘,其特征在于,各所述台阶孔的周缘设有4个螺丝孔。
7.根据权利要求1所述的具有修整功能的抛光垫刷盘,其特征在于,所述台阶孔均匀的分布在所述刷盘背面的圆周方向上。
8.根据权利要求1所述的具有修整功能的抛光垫刷盘,其特征在于,所述台阶孔为通孔结构。
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