[实用新型]一种具有修整功能的抛光垫刷盘

说明书

本实用新型提供一种具有修整功能的抛光垫刷盘，包括背板、弹簧、修整器、刷盘以及螺丝，背板呈扁圆形结构，上面开有若干供所述螺丝穿过的通孔，刷盘的正面设有若干毛刷，刷盘背面的圆周方向上开有若干台阶孔，各台阶孔内用于放置一修整器，修整器安装在所述台阶孔内并从所述台阶孔内伸出，背板盖合在所述刷盘的背面并通过螺丝将刷盘固定在背板上，各台阶孔内设有一弹簧，弹簧的一端抵靠在修整器上，另一端抵靠在背板上。本实用新型将抛光垫刷盘和抛光垫修整器两者集成于一体，可同时完成两道工艺，提高了抛光垫的维护效率，降低操作人员的劳动强度，减少抛光垫维护的成本，使得抛光垫的清洁度和抛光精度同时能够得到保证。

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，具体地讲，本实用新型涉及一种具有修整功能的抛光垫刷盘。

背景技术

在半导体晶片以及部分光电材料的抛光制程中，为了确保晶片抛光的表面质量、精度和抛光效率，需要定期对抛光垫进行维护；常用的维护方法有刷洗和修整。如图1所示，抛光垫刷盘a是为了维持抛光垫的清洁、去除表层和浅层的抛光液结晶，抛光垫刷洗通常使用抛光垫刷盘a完成。如图2所示，抛光垫修整器b是为了维持抛光垫的平面度及抛光垫表面的粗糙度，确保晶片的抛光精度和抛光效率，抛光垫的修整通常使用抛光垫修整器b完成。

在实际生产加工过程中，抛光垫刷盘和抛光垫修整器都需要使用，需要两套不同的工具对抛光垫进行不同目的的维护，由于采用了两种工具和工艺，因此影响了抛光垫的维护效率，增加了抛光垫的维护成本。

为解决上述问题，本实用新型提供了一种具有修整功能的抛光垫刷盘，克服现有的抛光垫刷盘和抛光垫修整器功能单一的缺陷，使抛光垫修整器和抛光垫刷盘集成于一体，提高抛光垫的维护效率。

实用新型内容

为了解决现有技术的问题，本实用新型提供了一种具有修整功能的抛光垫刷盘，克服现有的抛光垫刷盘和抛光垫修整器功能单一的缺陷，使抛光垫修整器和抛光垫刷盘集成于一体，提高抛光垫的维护效率。

本实用新型专利提供了一种具有修整功能的抛光垫刷盘，包括背板、弹簧、修整器、刷盘以及螺丝，所述背板呈扁圆形结构，上面开有若干供所述螺丝穿过的通孔，所述刷盘的正面设有若干毛刷，所述刷盘背面的圆周方向上开有若干台阶孔，各所述台阶孔内用于放置一修整器，所述修整器安装在所述台阶孔内并从所述台阶孔内伸出，所述背板盖合在所述刷盘的背面并通过螺丝将刷盘固定在背板上，各所述台阶孔内设有一弹簧，所述弹簧的一端抵靠在所述修整器上，另一端抵靠在所述背板上。

优选的，各所述修整器的端面设有用于放置弹簧的槽孔。

优选的，所述背板的正面设有若干用于固定弹簧的安装槽，所述安装槽的位置与所述槽孔的位置相应。

优选的，所述台阶孔内设有一凸台，所述修整器的上端边缘设有一凸肋，所述凸台与所述凸肋相配合，以对所述台阶孔内的修整器进行限位。

优选的，所述刷盘的背面设有若干螺丝孔，所述螺丝孔与所述背板上的通孔数量及位置相应。

优选的，各所述台阶孔的周缘设有4个螺丝孔。

优选的，所述台阶孔均匀的分布在所述刷盘背面的圆周方向上。

优选的，所述台阶孔为通孔结构。

本实用新型提供的技术方案带来的有益效果是：本实用新型将抛光垫刷盘和抛光垫修整器两者集成于一体，可同时完成两道工艺，提高了抛光垫的维护效率，降低操作人员的劳动强度，减少抛光垫维护的成本，使得抛光垫的清洁度和抛光精度同时能够得到保证。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型专利中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。