[实用新型]一种银箔蒸镀装置有效
申请号: | 201822189031.2 | 申请日: | 2018-12-25 |
公开(公告)号: | CN209602623U | 公开(公告)日: | 2019-11-08 |
发明(设计)人: | 刘汉英;许峰;李洋 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第十八研究所 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/30 |
代理公司: | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人: | 刘昕 |
地址: | 300384 天津市滨海*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 蒸镀 银箔 掩膜板 蒸镀层 纵梁 蒸镀装置 横梁 本实用新型 并行设置 底板 褶皱 掩膜板结构 准确定位 卡件 可控 贴合 同向 向内 相交 装卸 不平 延伸 配合 | ||
1.一种银箔蒸镀装置,包括蒸镀层,所述蒸镀层包括若干银箔,在所述蒸镀层的一侧设有掩膜板,其特征在于,所述掩膜板包括若干并行设置的第一横梁、第一纵梁,所述第一横梁与所述第一纵梁两两相交,相邻所述第一横梁、所述第一纵梁之间形成至少一组蒸镀区,所述蒸镀区用于放置待蒸镀的所述银箔,所述蒸镀区同一侧的所述第一纵梁设有若干向内延伸的卡件,所述卡件同向并行设置。
2.根据权利要求1所述的一种银箔蒸镀装置,其特征在于,所述掩膜板还包括若干第二纵梁,所述第二纵梁设于每组所述蒸镀区的同一位置处;所述第二纵梁到所述卡件所在一侧的所述第一纵梁之间距离大于到远离所述卡件一侧的所述第一纵梁之间的距离。
3.根据权利要求2所述的一种银箔蒸镀装置,其特征在于,所述掩膜板还包括若干第二横梁,所述第二横梁与设有所述卡件的所述第一纵梁的连接点为第一交点,所述第一交点与所述卡件错位设置。
4.根据权利要求3所述的一种银箔蒸镀装置,其特征在于,所述第一横梁与所述第二横梁并行设置,所述第一纵梁与所述第二纵梁并行设置;所述第一横梁、所述第二横梁分别垂直于所述第一纵梁、所述第二纵梁。
5.根据权利要求1或2或4所述的一种银箔蒸镀装置,其特征在于,所述蒸镀层远离所述掩膜板的一侧设有支撑板,所述支撑板靠近所述蒸镀层的一侧包括若干组纵向等距设置的短柱;每组纵向设置的所述短柱内嵌于所述蒸镀区,位于靠近远离所述卡件的所述第一纵梁一侧。
6.根据权利要求5所述的一种银箔蒸镀装置,其特征在于,每组纵向所述短柱的连接线均与所述第一纵梁平行设置,所述短柱与所述卡件相互交错设置。
7.根据权利要求6所述的一种银箔蒸镀装置,其特征在于,相邻纵向所述短柱之间的距离不小于所述银箔的宽度。
8.根据权利要求6或7所述的一种银箔蒸镀装置,其特征在于,底板远离所述蒸镀层的一侧设有框架,所述底板可内嵌于所述框架并固接于所述框架上,所述框架包括固定区,所述固定区四边设有向外延伸的固定架,在所述固定架中部设有固定件;所述固定区四边还设有角板,所述角板上设有若干卡槽。
9.根据权利要求8所述的一种银箔蒸镀装置,其特征在于,还包括盖板,所述盖板位于所述掩膜板远离所述蒸镀层的一侧,所述盖板远离所述掩膜板一侧设有若干凹槽。
10.根据权利要求9所述的一种银箔蒸镀装置,其特征在于,所述盖板的宽度是所述掩膜板宽度的1/3-1/2。
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