[实用新型]一种银箔蒸镀装置有效
申请号: | 201822189031.2 | 申请日: | 2018-12-25 |
公开(公告)号: | CN209602623U | 公开(公告)日: | 2019-11-08 |
发明(设计)人: | 刘汉英;许峰;李洋 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第十八研究所 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/30 |
代理公司: | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人: | 刘昕 |
地址: | 300384 天津市滨海*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 蒸镀 银箔 掩膜板 蒸镀层 纵梁 蒸镀装置 横梁 本实用新型 并行设置 底板 褶皱 掩膜板结构 准确定位 卡件 可控 贴合 同向 向内 相交 装卸 不平 延伸 配合 | ||
本实用新型提供一种银箔蒸镀装置,包括蒸镀层,所述蒸镀层包括若干银箔,在所述蒸镀层的一侧设有掩膜板,所述掩膜板包括若干并行设置的第一横梁、第一纵梁,所述第一纵梁与所述第一横梁两两相交,相邻所述第一横梁、所述第一纵梁之间形成至少一组蒸镀区,所述蒸镀区用于放置待蒸镀的银箔,所述蒸镀区的同一侧所述第一纵梁设有若干向内延伸的卡件,所述卡件同向并行设置。本实用新型根据银箔薄软的特性,设计出一种专用蒸镀装置,通过掩膜板与底板的相互配合,消除因掩膜板结构设计不合理而导致掩膜板与蒸镀层之间贴合不平整,易出现褶皱的问题,提高了蒸镀效果,并能准确定位蒸镀区中银箔的位置,易于装卸,操作简单可控,具有更好的适普性。
技术领域
本实用新型属于太阳能电池工装设备领域,尤其是涉及一种银箔蒸镀装置。
背景技术
目前银箔的双面镀金主要采用电子束蒸发技术进行蒸镀,由于银箔厚度较薄,质地偏软,蒸镀面向下,蒸镀过程中银箔受自重影响,很容易造成银箔褶皱。传统的银箔蒸镀是采用胶带粘贴的方式来固定,这种方式不仅费时费力,而且因为人为原因无法保证银箔与掩膜板贴合的平整度,可控性差,甚至会扯破银箔导致整块银箔无法使用,亦无法保证银箔蒸镀位置的准确度;平整度的不稳定会造成不同程度的银箔褶皱,会严重影响蒸镀效果。
发明内容
本实用新型针对上述现有技术中存在的问题,提供一种银箔蒸镀装置,目的是消除因掩膜板结构设计不合理而导致掩膜板与蒸镀层之间贴合不平整,易出现褶皱的问题。
本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案实现的:
一种银箔蒸镀装置,包括蒸镀层,所述蒸镀层包括若干银箔,在所述蒸镀层的一侧设有掩膜板,其特征在于,所述掩膜板包括若干并行设置的第一横梁、第一纵梁,所述第一横梁与所述第一纵梁两两相交,相邻所述第一横梁、所述第一纵梁之间形成至少一组蒸镀区,所述蒸镀区用于放置待蒸镀的所述银箔,所述蒸镀区的同一侧所述第一纵梁设有若干向内延伸的卡件,所述卡件同向并行设置。
进一步的,所述掩膜板还包括若干第二纵梁,所述第二纵梁设于每组所述蒸镀区的同一位置处,所述第二纵梁到所述卡件所在一侧的所述第一纵梁之间距离大于到远离所述卡件一侧的所述第一纵梁之间的距离。
进一步的,所述掩膜板还包括若干第二横梁,所述第二横梁与设有所述卡件的所述第一纵梁的连接点为第一交点,所述第一交点与所述卡件错位设置。
进一步的,所述第一横梁与所述第二横梁并行设置,所述第一纵梁与所述第二纵梁并行设置;所述第一横梁、所述第二横梁分别垂直于所述第一纵梁、所述第二纵梁。
进一步的,所述蒸镀层远离所述掩膜板的一侧设有支撑板,所述支撑板靠近所述蒸镀层的一侧包括若干组纵向等距设置的短柱;每组纵向设置的所述短柱内嵌于所述蒸镀区,位于靠近远离所述卡件的所述第一纵梁一侧。
进一步的,每组纵向所述短柱的连接线均与所述第一纵梁平行设置,所述短柱与所述卡件相互交错设置。
进一步的,相邻纵向所述短柱之间的距离不小于所述银箔的宽度。
进一步的,所述底板远离所述蒸镀层的一侧设有框架,所述底板可内嵌于所述框架并固接于所述框架上,所述框架包括固定区,所述固定区的四边设有向外延伸的固定架,在所述固定架中部设有固定件。
进一步的,还包括盖板,所述盖板位于所述掩膜板远离所述蒸镀层的一侧,所述盖板远离所述掩膜板一侧设有若干凹槽。
进一步的,所述盖板的宽度是所述掩膜板宽度的1/3-1/2。
本技术方案具有如下的优点和有益效果:
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