[实用新型]多晶硅片打磨装置

权利要求书

1.一种多晶硅片打磨装置，所述多晶硅片打磨装置包括相连的制绒设备（100）和清洗设备（200），其特征在于，还包括抽风设备（300），所述抽风设备（300）包括抽风管（310）、抽风泵（320）和信号采集系统（330）；

所述抽风泵（320）和信号采集系统（330）设置在所述抽风管（310）中，抽风设备（300）的抽风端连接所述清洗设备（200）的清洗室。

2.如权利要求1所述的多晶硅片打磨装置，其特征在于，靠近排气端所述抽风管（310）中设有单向阀（311），气体在所述单向阀（311）位置处的流通方向为所述抽风管（310）的抽风端至抽风管（310）的排气端。

3.如权利要求1所述的多晶硅片打磨装置，其特征在于，所述信号采集系统（330）包括压力传感器（331）和氟化物检测器（332），所述氟化物检测器（332）和压力传感器（331）安装在抽风管（310）的抽风端位置处。

4.如权利要求1所述的多晶硅片打磨装置，其特征在于，所述抽风设备（300）还包括连在所述抽风管（310）排风端的氟化物反应罐（340）。

5.如权利要求1所述的多晶硅片打磨装置，其特征在于，所述信号采集系统（330）的输出端连接控制器（333）的输入端，所述控制器（333）的控制端连接抽风泵（320）。

6.如权利要求5所述的多晶硅片打磨装置，其特征在于，所述控制器（333）采用型号为STM32的单片机。