[实用新型]一种用于管式PECVD的进气装置有效

专利信息
申请号: 201822194719.X 申请日: 2018-12-26
公开(公告)号: CN209873096U 公开(公告)日: 2019-12-31
发明(设计)人: 江庆;徐华浦;赵洪俊;江顺钦 申请(专利权)人: 阜宁苏民绿色能源科技有限公司
主分类号: C23C16/455 分类号: C23C16/455
代理公司: 32224 南京纵横知识产权代理有限公司 代理人: 董建林;俞翠华
地址: 224400 江苏省盐*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 进气孔 管体 管路组件 集气装置 炉口 炉尾 本实用新型 第二管 真空泵 进气 进气装置 炉体顶部 炉体内部 炉体外部 气体分布 气体输送 均匀性 管内 管式 两路 炉管 炉体 连通 保证
【权利要求书】:

1.一种用于管式PECVD的进气装置,其特征在于,包括:

炉体,所述炉体内为空腔结构,用于放置待镀膜物件,所述炉体顶部位于炉口和炉尾处分别设有第一进气孔和第二进气孔;

第一集气装置;

第二集气装置;

第一管路组件,所述第一管路组件包括第一管体和第二管体,所述第一管体和第二管体的一端均与所述第一集气装置的出口相连,二者的另一端分别与所述第一进气孔和第二进气孔相连通;

第二管路组件,所述第二管路组件包括第三管体和第四管体,所述第三管体和第四管体的一端均与所述第二集气装置的出口相连,二者的另一端分别与所述第一进气孔和第二进气孔相连通;

真空泵,所述真空泵设于所述炉体的外部,且与所述炉体内部连通。

2.根据权利要求1所述的一种用于管式PECVD的进气装置,其特征在于:所述第一进气孔和第二进气孔对称设置于炉体的两侧。

3.根据权利要求1所述的一种用于管式PECVD的进气装置,其特征在于:所述第一管体和第二管体上均设有流量计;所述第三管体和第四管体上均设有流量计。

4.根据权利要求1所述的一种用于管式PECVD的进气装置,其特征在于:所述第一管体和第二管体长度相等;所述第三管体和第四管体长度相等。

5.根据权利要求1所述的一种用于管式PECVD的进气装置,其特征在于:所述第一集气装置内填充有SiH4气体。

6.根据权利要求5所述的一种用于管式PECVD的进气装置,其特征在于:所述第一集气装置为集气瓶。

7.根据权利要求1所述的一种用于管式PECVD的进气装置,其特征在于:所述第二集气装置内填充有NH3气体。

8.根据权利要求7所述的一种用于管式PECVD的进气装置,其特征在于:所述第二集气装置为集气瓶。

9.根据权利要求1所述的一种用于管式PECVD的进气装置,其特征在于:所述真空泵通过导管与所述炉体内部连通。

10.根据权利要求1所述的一种用于管式PECVD的进气装置,其特征在于:所述第一集气装置的出口处设有第一三通管,所述第一三通管的一端与第一集气装置的出口相连,其余两端分别与第一管体和第二管体相连通;所述第二集气装置的出口处设有第二三通管,所述第二三通管的一端与第二集气装置的出口相连,其余两端分别与第三管体和第四管体相连通。

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