[实用新型]一种用于管式PECVD的进气装置

说明书

本实用新型公开了一种用于管式PECVD的进气装置，包括炉体、第一集气装置、第二集气装置、第一管路组件、第二管路组件和真空泵，炉体顶部位于炉口和炉尾处分别设有第一进气孔和第二进气孔；第一管路组件包括第一管体和第二管体，第一管体和第二管体的一端均与第一集气装置相连，二者的另一端分别与第一进气孔和第二进气孔相连；第二管路组件包括第三管体和第四管体，第三管体和第四管体的一端均与第二集气装置相连，二者的另一端分别与第一进气孔和第二进气孔相连；真空泵设于炉体外部，且与炉体内部连通。本实用新型将一路气体输送改成两路，将单纯的炉口进气更改为在炉管的炉口顶部和炉尾顶部分别进气，能够保证炉口与炉尾的气体分布一致，使得管内均匀性得到改善。

技术领域

本实用新型属于太阳能电池制备技术领域，具体涉及一种用于管式PECVD的进气装置。

背景技术

太阳能是一种绿色环保的新能源。利用太阳光发电的太阳能电池是对太阳能利用的最普遍的一种方式，制备氮化硅减反射膜是制造高效率太阳能电池的重要环节。氮化硅减反射膜通常采用等离子体增强化学气相沉积法(Plasma Enhanced Chemical VaporDeposition，PECVD)技术生成，技术原理是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子化学活性很强，很容易发生反应，在硅片上沉积出所期望的薄膜。PECVD目前有板式和管式两种，而管式PECVD以它低温生膜、成膜速度快且较为均匀等诸多优势而被广泛使用。在管式PECVD在运行时，气体从炉口进气，存在管内气体分布不均匀，炉口气体浓度较炉尾浓度高的问题，从而导致镀膜过程中生成的SiNx折射率差异较大，影响管内整体的均匀性，使得镀膜后颜色外观差异大，严重的需进行返工，浪费大量的人力物力，不仅给生产带来巨大的麻烦，还降低了产量。

实用新型内容

针对上述问题，本实用新型提出一种用于管式PECVD的进气装置，将一路气体输送改成两路，将单纯的炉口进气更改为在炉管的炉口顶部和炉尾顶部分别进气，能够保证炉口与炉尾的气体分布一致，使得管内均匀性得到改善，减少色差片的出现。

实现上述技术目的，达到上述技术效果，本实用新型通过以下技术方案实现：

一种用于管式PECVD的进气装置，包括：

炉体，所述炉体内为空腔结构，用于放置待镀膜物件，所述炉体顶部位于炉口和炉尾处分别设有第一进气孔和第二进气孔；

第一集气装置；

第二集气装置；

第一管路组件，所述第一管路组件包括第一管体和第二管体，所述第一管体和第二管体的一端均与所述第一集气装置的出口相连，二者的另一端分别与所述第一进气孔和第二进气孔相连通；

第二管路组件，所述第二管路组件包括第三管体和第四管体，所述第三管体和第四管体的一端均与所述第二集气装置的出口相连，二者的另一端分别与所述第一进气孔和第二进气孔相连通；

真空泵，所述真空泵设于所述炉体的外部，且与所述炉体内部连通。

作为本实用新型的进一步改进，所述第一进气孔和第二进气孔对称设置于炉体的两侧。

作为本实用新型的进一步改进，所述第一管体和第二管体上均设有流量计；所述第三管体和第四管体上均设有流量计。

作为本实用新型的进一步改进，所述第一管体和第二管体长度相等；所述第三管体和第四管体长度相等。

作为本实用新型的进一步改进，所述第一集气装置内填充有SiH4气体。

作为本实用新型的进一步改进，所述第一集气装置为集气瓶。

作为本实用新型的进一步改进，所述第二集气装置内填充有NH3气体。

作为本实用新型的进一步改进，所述第二集气装置为集气瓶。