[实用新型]一种用于PVD真空镀膜的高密封性门有效
| 申请号： | 201822196798.8 | 申请日： | 2018-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN209292471U | 公开（公告）日： | 2019-08-23 |
| 发明（设计）人： | 梁海洋;邓永琪;吴伟亮 | 申请（专利权）人： | 苏州星蓝纳米技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 江苏昆成律师事务所 32281 | 代理人： | 刘尚轲 |
| 地址： | 215000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 密封圈 腔体 衬板 加热器 内部侧壁 高密封性门 真空镀膜机 托盘 真空镀膜 支撑架 外部 本实用新型 底部侧壁 活动固定 真空腔室 部侧 单层 保证 | ||
1.一种用于PVD真空镀膜的高密封性门，其包括：加热器(1)、衬板(2)、托盘(3)、腔体(4)、支撑架(5)，其中，托盘(3)固定在腔体(4)的内部侧壁的下方，衬板(2)活动固定在腔体(4)的内部侧壁上，在力的作用下可以控制衬板(2)上下移动，从而脱离开或者安装到腔体(4)的内部侧壁上，衬板(2)上靠近PVD真空镀膜机的主体的一面前端设有加热器(1)，加热器(1)的底部固定在腔体(4)的内部侧壁上，支撑架(5)固定在腔体(4)的底部侧壁上；腔体(4)的侧部侧壁超出衬板(2)的面积范围的一圈设有内部密封圈(41)，内部密封圈(41)的宽度为1-2cm，高度为0.5～1cm，其特征在于：内部密封圈(41)的外部还设有一圈外部密封圈(42)，外部密封圈(42)的宽度为0.3～0.8cm，高度为0.2～0.5cm，且外部密封圈(42)的宽度和高度均小于内部密封圈(41)的宽度和高度。
2.如权利要求1所述的用于PVD真空镀膜的高密封性门，其特征在于：加热器(1)为蛇形分布。
3.如权利要求1所述的用于PVD真空镀膜的高密封性门，其特征在于：腔体(4)上的侧面设有把手，方便将高密封性能的门与PVD真空镀膜设备的主体的侧壁进行盖合。
4.如权利要求1所述的用于PVD真空镀膜的高密封性门，其特征在于：内部密封圈(41)和外部密封圈(42)均采用塑料或者硅胶材质。
5.如权利要求1所述的用于PVD真空镀膜的高密封性门，其特征在于：腔体(4)的底部设有通孔，整线管(51)的一端能够与通孔相连，整线管(51)固定在支撑架(5)内部，且通过支撑架后再向下延伸，整线管内部排布有电线和水管。
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