[实用新型]一种ITO靶材注浆除泡设备的中央真空系统装置有效
| 申请号： | 201822207393.X | 申请日： | 2018-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN209937242U | 公开（公告）日： | 2020-01-14 |
| 发明（设计）人： | 周传水;李隽;余永强;柯尚文 | 申请（专利权）人： | 广东凯盛光伏技术研究院有限公司;中建材蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司 |
| 主分类号： | B28B15/00 | 分类号： | B28B15/00;B28B17/00 |
| 代理公司： | 44205 广州嘉权专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 左恒峰 |
| 地址： | 528137 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空管道 真空罐 浆料罐 排污罐 真空泵 管道连接 浆料 压力表 中央真空系统 本实用新型 压力表显示 除泡设备 电线线路 设备维护 装置结构 近真空 气动阀 注浆 工作量 抽出 排污 统一 | ||
【权利要求书】：
1.一种ITO靶材注浆除泡设备的中央真空系统装置，其特征在于：包括多个浆料罐(1)，所述浆料罐(1)外设有真空管道(2)，所述浆料罐(1)通过气动阀(3)连接到真空管道(2)，所述真空管道(2)连接有排污罐(4)，所述排污罐(4)通过管道连接有真空罐(5)，所述真空罐(5)通过管道连接真空泵(6)，所述真空罐(5)上方设有压力表(51)。
2.根据权利要求1所述的一种ITO靶材注浆除泡设备的中央真空系统装置，其特征在于：所述排污罐(4)分上腔体(41)和下腔体(42)。
3.根据权利要求2所述的一种ITO靶材注浆除泡设备的中央真空系统装置，其特征在于：所述上腔体(41)底部通过管道与下腔体(42)联通，所述上腔体(41)和下腔体(42)之间的管道设有第一阀门(43)。
4.根据权利要求3所述的一种ITO靶材注浆除泡设备的中央真空系统装置，其特征在于：所述下腔体(42)的底部设有排污通道，所述排污通道设有第二阀门(44)。
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