[实用新型]一种ITO靶材注浆除泡设备的中央真空系统装置

说明书

本实用新型公开了一种ITO靶材注浆除泡设备的中央真空系统装置，包括多个浆料罐，所述浆料罐外设有真空管道，所述浆料罐通过气动阀连接到真空管道，所述真空管道连接有排污罐，所述排污罐通过管道连接有真空罐，所述真空罐通过管道连接有真空泵，所述真空罐上方设有压力表。真空泵将真空罐抽成近真空状态，压力表显示真空罐内的压力情况，与真空罐相连的排污罐会通过真空管道将浆料罐内的泡沫抽到排污罐内。这样通过真空管道统一将浆料罐内的泡沫抽出，不用一台浆料罐配一台真空泵，该装置结构简单、占地面积小，设备电线线路少，设备维护工作量小，有利于工业生产。

技术领域

本实用新型涉及靶材生产领域，特别地，涉及一种ITO靶材注浆除泡设备的中央真空系统装置。

背景技术

注浆成型是ITO靶材生产中常用的两种成型方法之一。使用该方法制备的ITO靶坯具有尺寸大，残余应力小，性质均匀的优点。在使用注浆成型方法生产ITO靶材过程中，所使用的ITO浆料在前工序球磨中产生较多气泡，因此在对ITO浆料进行注浆前处理工序中，除泡是重要的一环。常用有效的除泡方法是真空除泡，该方法具有快捷有效，不带入杂质的优点。现有市场上，一台ITO注浆装置的浆料处理罐与一台真空泵连接。因此在工业生产中，该装置结构复杂、占地面积大，设备电线线路多，设备维护工作量大，不利于工业生产。

实用新型内容

为了克服现有技术的不足，本实用新型提供一种结构简单,操作方便,维护工作量少，有利于工业大批量生产的中央真空系统装置。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种ITO靶材注浆除泡设备的中央真空系统装置，包括多个浆料罐，所述浆料罐外设有真空管道，所述浆料罐通过气动阀连接到真空管道，所述真空管道连接有排污罐，所述排污罐通过管道连接有真空罐，所述真空罐通过管道连接有真空泵，所述真空罐上方设有压力表。

优选地，所述排污罐分上腔体和下腔体,除泡过程中被吸到真空管道的泡沫和浆料流到排污罐的上腔体，沉积在上腔体的底部。

优选地，所述上腔体底部通过管道与下腔体联通，所述上腔体和下腔体之间的管道设有第一阀门，当第一阀门打开时，上腔体内的泡沫和浆料流到下腔体。

优选地，所述下腔体的底部设有排污通道，所述排污通道设有第二阀门，当第二阀门打开时，泡沫和浆料通过排污通道流出排污罐外。

本实用新型的有益效果：

由上述方案可知，真空泵将真空罐抽成近真空状态，压力表显示真空罐内的压力情况，与真空罐相连的排污罐会通过真空管道将浆料罐内的泡沫抽到排污罐内。这样通过真空管道统一将浆料罐内的泡沫抽出，不用一台浆料罐配一台真空泵，该装置结构简单、占地面积小，设备电线线路少，设备维护工作量小，有利于工业生产。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型结构示意图。

图中标号：1-浆料罐，2-真空管道，3-气动阀，4-排污罐，41-上腔体，42-下腔体，43-第一阀门，44-第二阀门，5-真空罐，51-压力表，6-真空泵。

具体实施方式

参照图1，一种ITO靶材注浆除泡设备的中央真空系统装置，包括多个浆料罐1，所述浆料罐1外设有真空管道2，所述浆料罐1通过气动阀3连接到真空管道2，所述真空管道2连接有排污罐4，所述排污罐4通过管道连接有真空罐5，所述真空罐5通过管道连接有真空泵6，所述真空罐5上方设有压力表51。