[实用新型]一种扩晶装置

权利要求书

1.一种扩晶装置，其特征在于：包括底板、压膜组件、扩晶盘、扩晶驱动模组、压圈盘、压圈驱动件、熔膜环，所述压膜组件设于底板上方并向底板压合，所述底板的中心开设有扩晶口，所述扩晶盘设于扩晶口的下方，扩晶盘的顶端沿圆周边缘设有用于固定内圈的阶梯结构，扩晶盘内设有发热管，所述扩晶驱动模组与扩晶盘驱动连接并驱动扩晶盘沿竖直移动，所述压圈盘设于扩晶口的上方，压圈盘的底面设有用于固定外圈的固定件，所述压圈驱动件与压圈盘驱动连接并驱动压圈盘沿竖直移动，所述熔膜环设于扩晶口的正下方，所述熔膜环内设有发热管，所述压圈盘的直径、熔膜环的内径均与外圈的外径相同。

2.根据权利要求1所述的一种扩晶装置，其特征在于：所述扩晶盘和熔膜环内均设有热电偶传感器。

3.根据权利要求1所述的一种扩晶装置，其特征在于：所述压膜组件包括压膜盘、压膜驱动件，所述压膜盘罩设于压圈盘的外侧，所述压膜驱动件与压膜盘驱动连接并驱动压膜盘沿竖直移动。

4.根据权利要求1所述的一种扩晶装置，其特征在于：所述固定件包括伸缩体、伸缩弹簧、球头柱塞，所述伸缩体沿压圈盘的圆周分布，伸缩体的侧面设有卡块，所述压圈盘上设有与伸缩体对应的伸缩槽及与卡块对应的卡槽，所述伸缩体置于伸缩槽内且卡块置于卡槽内，所述伸缩弹簧抵压在伸缩槽与伸缩体之间使伸缩体的底端凸出于压圈盘的底面，伸缩体的底端设有水平的球头柱塞，且球头凸出于伸缩体的侧面。

5.根据权利要求1所述的一种扩晶装置，其特征在于：所述熔膜环固设于底板的底面且熔膜环与底板之间夹设有隔热层。

6.根据权利要求1所述的一种扩晶装置，其特征在于：还包括扩晶导向组件，所述扩晶导向组件包括若干导向块、控制环、开合驱动件，所述若干导向块设于扩晶口和熔膜环之间，且若干导向块接合形成与外圈对应的圆环，所述导向块的外侧面设有凸块，所述控制环围于导向块的外侧，且控制环的内侧面设有与凸块对应的凹槽，所述导向块设有延伸至熔膜环外侧的连接杆，连接杆与熔膜环滑动连接，连接杆的末端设有压块，压块和熔膜环之间压接有弹簧，开合驱动件与控制环驱动连接并驱动控制环转动，凸块通过弹簧与凹槽对合，使导向块向控制环贴合。

7.根据权利要求6所述的一种扩晶装置，其特征在于：所述开合驱动件为驱动气缸，所述驱动气缸的一端与底板铰接，驱动气缸的另一端与控制环铰接，且驱动气缸的驱动方向为控制环的切线方向。

8.根据权利要求1所述的一种扩晶装置，其特征在于：所述底板的一侧还设有夹膜机械手，所述夹膜机械手包括水平驱动模组、旋转气缸、夹膜气缸、夹膜块，所述夹膜块相对设置，所述夹膜气缸与夹膜块驱动连接并驱动夹膜块相互贴合，所述旋转气缸与夹膜气缸驱动连接并驱动夹膜气缸带动夹膜块转动，所述水平驱动模组与旋转气缸驱动连接并驱动旋转气缸沿水平移动。

9.根据权利要求3所述的一种扩晶装置，其特征在于：所述底板表面设有与压膜盘对应的垫圈。