[实用新型]真空腔体密封用门阀及应用该门阀的真空腔体

权利要求书

1.真空腔体密封用门阀，其特征在于，包括：门阀组件，及用于驱动所述门阀组件的驱动组件；所述门阀组件包括固定设置的导轨，滑动设置在所述导轨上的推动板，以及通过连杆活动连接在所述推动板一侧的密封板，所述连杆的一端铰接在所述推动板上，另一端铰接在所述密封板上，所述驱动组件驱动所述推动板沿所述导轨移动，所述门阀组件还包括固定设置的用于限制密封板最大行程的限位结构。

2.如权利要求1所述的真空腔体密封用门阀，其特征在于，所述限位结构包括设置在密封板下方的第一限位块和用于限制推动板最大行程位置的第二限位块，所述推动板及密封板在最大行程位置时，所述连杆与所述导轨呈垂直状态。

3.如权利要求2所述的真空腔体密封用门阀，其特征在于，所述密封板及所述推动板相对的一侧皆设置有连接块，连杆的两端分别铰接在相应连接块上，第二限位块对应设置在两个连接块下方。

4.如权利要求2所述的真空腔体密封用门阀，其特征在于，所述第一限位块上设置有与密封板配合的球头柱塞。

5.如权利要求1所述的真空腔体密封用门阀，其特征在于，所述驱动组件包括气缸，所述气缸的伸缩杆的一端与推动板活动连接。

6.如权利要求1所述的真空腔体密封用门阀，其特征在于，所述推动板上固定设置有与所述导轨相配合的滑块。

7.如权利要求1所述的真空腔体密封用门阀，其特征在于，所述密封板板面凹设有环形凹槽，所述凹槽内嵌设有密封垫圈。

8.一种真空腔体密封用门阀的真空腔体，包括如权利要求1-7任一项所述的一种真空腔体密封用门阀，其特征在于，还包括：一侧具有开口的真空室，所述门阀组件设置在真空室内；所述密封板与所述开口相匹配，所述导轨固定设置在真空室内壁上，所述限位结构位于所述开口下方，使得密封板在导轨上的最大行程位置与所述开口相对应。