[实用新型]真空腔体密封用门阀及应用该门阀的真空腔体

说明书

本实用新型提供了一种真空腔体密封用门阀及应用该门阀的真空腔体，门阀包括门阀组件，及用于驱动门阀组件的驱动组件；门阀组件包括导轨，滑动设置在导轨上的推动板，以及通过连杆活动连接在推动板一侧的密封板，连杆的一端铰接在所述推动板上，另一端铰接在所述密封板上，所述驱动组件驱动所述推动板沿所述导轨移动，门阀组件还包括固定设置的有用于限制密封板最大行程的限位结构。所述门阀的可应用于真空腔体的密封，本实用新型的门阀结构新颖，应用于相邻真空腔时，缩短了两个真空腔的距离，避免使用过渡室，缩短了取用机械手的长度，节约了生产成本，提高了生产效率。

技术领域

本实用新型属于真空设备技术领域，尤其涉及一种真空腔体密封用门阀。

背景技术

有机发光显示屏，0LED，即有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode)，又称为有机电激光显示(Organic Electroluminesence Display，0ELD)。因为具备轻薄、省电等特性，被广泛应用。OLED基片在加工的过程中需要在真空腔体中有效的传送。目前腔体之间连接普遍通过独立的插板阀结构来连接两个不同的真空腔体，插板阀安装的方式对安装空间、安装尺寸及配套的真空腔体等尺寸都有着较高的要求，从而实现成本较高。

实用新型内容

为了解决现有技术的不足，本实用新型提供了一种真空腔体密封用门阀及其应用。

本实用新型的目的通过以下技术方案来实现：

真空腔体密封用门阀，包括：门阀组件，及用于驱动所述门阀组件的驱动组件；所述门阀组件包括固定设置的导轨，滑动设置在所述导轨上的推动板，以及通过连杆活动连接在所述推动板一侧的密封板，所述连杆的一端铰接在所述推动板上，另一端铰接在所述密封板上，所述驱动组件驱动所述推动板沿所述导轨移动，所述门阀组件还包括固定设置的有用于限制密封板最大行程的限位结构。

优选地，所述限位结构包括设置在密封板下方的第一限位块和用于限制推动板最大行程位置的第二限位块，所述推动板及密封板在最大行程位置时，所述连杆与所述导轨呈垂直状态。

优选地，所述密封板及所述推动板相对的一侧皆设置有连接块，连杆的两端分别铰接在相应连接块上，第二限位块对应设置在两个连接块下方。

优选地，所述第一限位块上设置有与密封板配合的球头柱塞。

优选地，所述驱动组件包括气缸，所述气缸的伸缩杆的一端与推动板活动连接。

优选地，所述推动板的两侧设置有用于与导轨配合的滑块。

优选地，所述密封板板面凹设有环形凹槽，所述凹槽内嵌设有密封垫圈。

一种带有真空腔体密封用门阀的真空腔体，包括以上任一项所述的一种带有真空腔体密封用门阀，同时，还包括：一侧具有开口的真空室，所述门阀组件设置在真空室内；所述密封板与所述开口相匹配，所述导轨固定设置在真空室内壁上，所述限位结构位于所述开口下方，使得密封板在导轨上的最大行程位置与所述开口相对应。

本实用新型的有益效果体现在：门阀结构新颖，应用于相邻真空腔时，缩短了两个真空腔的距离，避免使用过渡室，缩短了取用机械手的长度，节约了生产成本，提高了生产效率。

附图说明

图1：本实用新型推动板一侧的立体结构示意图。

图2：本实用新型密封板一侧的立体结构示意图。

图3：本实用新型推动板和密封板位于初始位置时的结构关系示意图。

图4：本实用新型密封板到达最大行程位置时的结构关系示意图。

图5：本实用新型密封板密封状态时与推动板的结构示意图。