[实用新型]一种蒸发源系统维护装置

权利要求书

1.一种蒸发源系统维护装置，所述蒸发源系统内设置有石墨坩埚，其特征在于，所述蒸发源系统维护装置包括：

支撑件，用于支撑蒸发源系统；和

抓取装置，包括支架以及用于抓取所述石墨坩埚的卡钳组件，所述卡钳组件滑动装配在所述支架上，且所述卡钳组件在所述支架上的滑动方向与所述蒸发源系统内的石墨坩埚的轴线平行。

2.如权利要求1所述的蒸发源系统维护装置，其特征在于，所述卡钳组件包括与所述支架滑动连接的连接座；与所述连接座连接并用于抓取所述石墨坩埚的张紧机构；以及用于驱动所述张紧机构张紧的驱动机构。

3.如权利要求2所述的蒸发源系统维护装置，其特征在于，所述张紧机构包括：

与所述连接座固定连接的套筒；

与所述套筒转动连接的多个卡爪；以及

滑动装配在所述套筒内的连杆，所述连杆上设置有推动所述卡爪转动的驱动件；在所述连杆滑动到第一设定位置时，所述驱动件推动所述卡爪抵压在所述石墨坩埚的内壁。

4.如权利要求2所述的蒸发源系统维护装置，其特征在于，所述张紧机构包括：

与所述连接座固定连接的套筒；

与所述套筒滑动连接的多个卡爪；以及

滑动装配在所述套筒内的连杆，所述连杆上设置有推动所述卡爪转动的驱动件；在所述连杆滑动到第一设定位置时，所述驱动件推动所述卡爪抵压在所述石墨坩埚的内壁。

5.如权利要求3或4所述的蒸发源系统维护装置，其特征在于，所述驱动机构为水平卡钳，且所述水平卡钳与所述连杆连接。

6.如权利要求5所述的蒸发源系统维护装置，其特征在于，还包括用于托举所述石墨坩埚的托举组件。

7.如权利要求6所述的蒸发源系统维护装置，其特征在于，所述托举组件包括与所述支架固定连接的第一托板；

还包括第二托板，所述第二托板与所述支架滑动连接并可锁定在第二设定位置；在所述第二托板锁定在所述第二设定位置时，所述第二托板与所述石墨坩埚的底端抵压接触。

8.如权利要求7所述的蒸发源系统维护装置，其特征在于，所述第二托板通过水平卡钳锁定在所述第二设定位置。

9.如权利要求7所述的蒸发源系统维护装置，其特征在于，所述托举组件还包括与所述连接座滑动连接并可锁定在第三设定位置的第三托板。

10.如权利要求9所述的蒸发源系统维护装置，其特征在于，所述连接座上设置有固定块，所述固定块上滑动连接有导杆，所述导杆与所述第三托板固定连接，且所述导杆上穿设有压缩弹簧，所述压缩弹簧的两端分别抵压在所述固定块与所述第三托板上；所述导杆远离所述第三托板的一端外露在所述固定块外侧且连接有限位块。