[实用新型]一种蒸发源系统维护装置

说明书

本实用新型提供了一种蒸发源系统维护装置，蒸发源系统内设置有石墨坩埚，蒸发源系统维护装置包括：支撑件，用于支撑蒸发源系统；抓取装置，包括：支架以及用于抓取所述石墨坩埚的卡钳组件，其中，所述卡钳组件滑动装配在所述支架上，且所述卡钳组件在所述支架上的滑动方向与所述蒸发源系统内的石墨坩埚的轴线平行。通过设置的抓取装置与支撑件的配合抓取蒸发源系统中的石墨坩埚，提高了石墨坩埚在取出时的安全性。

技术领域

本实用新型涉及太阳能产品制造领域，尤其涉及一种蒸发源系统维护装置。

背景技术

蒸发源系统是太阳能产品制造领域中比较常用的设备，该蒸发源系统包括壳体以及嵌套在该壳体内的石墨坩埚，在使用时，通过石墨坩埚盛放蒸发原料，通过壳体内设置的加热装置对石墨坩埚进行加热，使得蒸发原料挥发进行蒸镀。在蒸发源系统在使用后，需要进行维护，在维护时，需要从蒸发源系统的壳体中取出石墨坩埚。而现有技术中的石墨坩埚在取出时，采用石墨坩埚卡钳，通过扳动石墨坩埚卡钳连接机构，使卡钳扣住石墨坩埚顶部，将坩埚拉出蒸发源系统。但是采用这种方式容易造成石墨坩埚破损，影响到维护的效果。

实用新型内容

本实用新型提供了一种蒸发源系统维护装置，用以方便拆取及装配蒸发源系统中的石墨坩埚。

本实用新型提供了一种蒸发源系统维护装置，所述蒸发源系统内设置有石墨坩埚，所述蒸发源系统维护装置包括：

支撑件，用于支撑蒸发源系统；和

抓取装置，包括支架以及用于抓取所述石墨坩埚的卡钳组件，所述卡钳组件滑动装配在所述支架上，且所述卡钳组件在所述支架上的滑动方向与所述蒸发源系统内的石墨坩埚的轴线平行。

通过设置的抓取装置与支撑件的配合抓取蒸发源系统中的石墨坩埚，提高了石墨坩埚在取出时的安全性。

在具体设置时，所述卡钳组件包括与所述支架滑动连接的连接座，与所述连接座连接并用于抓取所述石墨坩埚的张紧机构；以及用于驱动所述张紧机构张紧的驱动机构。

在具体设置时，所述张紧机构包括：

与所述连接座固定连接的套筒；

与所述套筒转动连接多个卡爪；以及

滑动装配在所述套筒内的连杆，所述连杆上设置有推动所述卡爪转动的驱动件；在所述连杆滑动到第一设定位置时，所述驱动件推动所述卡爪抵压在所述石墨坩埚的内壁。通过卡爪可抓取石墨坩埚。

在具体设置时，所述张紧机构包括：

与所述连接座固定连接的套筒；

与所述套筒滑动连接的多个卡爪；以及

滑动装配在所述套筒内的连杆，所述连杆上设置有推动所述卡爪转动的驱动件；在所述连杆滑动到第一设定位置时，所述驱动件推动所述卡爪抵压在所述石墨坩埚的内壁。通过卡爪可抓取石墨坩埚。

在具体设置时，所述驱动机构为水平卡钳，且所述水平卡钳与所述连杆连接。方便驱动以及锁紧张紧机构。

在具体设置时，所述水平卡钳为可调水平卡钳。

在具体设置时，还包括用于托举所述石墨坩埚的托举组件。

在具体设置时，所述托举组件包括与所述支架固定连接的第一托板；

还包括第二托板，所述第二托板与所述支架滑动连接并可锁定在第二设定位置；在所述第二托板锁定在所述第二设定位置时，所述第二托板与所述石墨坩埚的底端抵压接触。以稳定的支撑石墨坩埚。

在具体设置时，所述第二托板通过水平卡钳锁定在所述第二设定位置。

在具体设置时，所述托举组件还包括与所述连接座滑动连接并可锁定在第三设定位置的第三托板。