[实用新型]一种硅片用夹具

权利要求书

1.一种硅片用夹具，包括具有夹持腔的夹持盒体，其特征在于：包括设于夹持腔的两侧腔壁上相互对应且一端贯穿夹持腔内壁的凹槽、分别设于各对应凹槽内的夹持模块以及用于使得夹持模块与夹持盒体固定的定位组件；各夹持模块均包括设于各凹槽两侧槽壁之间的滑槽、分别设于各滑槽两侧槽壁上的限位槽、活动于各限位槽之间的限位片以及固定连接于各限位片之间且在滑槽内活动的转动销，各转动销上均固定连接有翻转夹块，各翻转夹块的两侧均间隔设有若干个且贯穿翻转夹块顶部和底部的第一卡槽、第二卡槽、相互对应的第三卡槽、相互对应的第四卡槽以及相互对应的第五卡槽；所述定位组件包括若干个分别间隔固定连接于所述翻转夹块顶部且分别位于各卡槽之间的定位块，所述凹槽靠近底部的槽壁上以及各凹槽靠近顶部的槽底上均间隔设有若干个用于和定位块卡接的限位组件。

2.根据权利要求1所述的一种硅片用夹具，其特征在于：所述限位组件包括定位槽以及分别设于该定位槽的顶部槽壁和底部槽壁的限位块，各限位块的两端均通过扭簧与定位槽的两侧槽壁铰接，且两个限位块之间形成有用于限制定位块活动的夹持槽。

3.根据权利要求2所述的一种硅片用夹具，其特征在于：所述限位块的截面形状为椭圆形，所述定位块的截面形状为圆形。

4.根据权利要求1—3所述的任意一种硅片用夹具，其特征在于：所述的第一卡槽、第二卡槽、第三卡槽、第四卡槽以及第五卡槽的槽壁上均设有弹性模体，所述弹性模体上设有若干个凸部。

5.根据权利要求4所述的一种硅片用夹具，其特征在于：各凸部上均设有盲孔。