[实用新型]一种硅片用夹具

说明书

本实用新型涉及一种硅片用夹具，包括具有夹持腔的夹持盒体，其特征在于：包括设于夹持腔的两侧腔壁上相互对应且一端贯穿夹持腔内壁的凹槽、分别设于各对应凹槽内的夹持模块以及用于使得夹持模块与夹持盒体固定的定位组件；各夹持模块均包括设于各凹槽两侧槽壁之间的滑槽、分别设于各滑槽两侧槽壁上的限位槽、活动于各限位槽之间的限位片以及固定连接于各限位片之间且在滑槽内活动的转动销，各转动销上均固定连接有翻转夹块，各翻转夹块的两侧均间隔设有若干个且贯穿翻转夹块顶部和底部的第一卡槽、第二卡槽、相互对应的第三卡槽、相互对应的第四卡槽以及相互对应的第五卡槽；本实用新型的有益效果：夹持效果好，使用多元化。

技术领域

本实用新型涉及夹具设备技术领域，特别涉及一种硅片用夹具。

背景技术

目前，市场上主流的硅片尺寸已经替换到8寸、12寸；对于5寸、6寸尚有很多工厂仍然在运行，但是，针对3寸、4寸的硅片已经有相当多的生产线关闭，不过仍有许多分立器件厂家保留使用3寸、4寸生产线。

由于对产品性能的不断追求，3寸、4寸生产线对硅片的要求不断提高，很多需要采用5寸、6寸的技术，有的甚至需要采用8-12寸的技术，而用于清洗5寸、6寸以及8-12寸的清洗机上的夹具无法夹持3寸、4寸的硅片，导致3寸、4寸的硅片无法顺利的进行生产；其次，目前的夹具固定硅片的效果较差，在清洗过程中，硅片极易脱落；由此，需要提供一种多元化可夹持不同尺寸硅片且具有较强夹持性能的夹具来满足生产的需要。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种硅片用夹具，旨在解决上述背景技术中出现的问题。

本实用新型的技术方案是这样实现的：一种硅片用夹具，包括具有夹持腔的夹持盒体，其特征在于：包括设于夹持腔的两侧腔壁上相互对应且一端贯穿夹持腔内壁的凹槽、分别设于各对应凹槽内的夹持模块以及用于使得夹持模块与夹持盒体固定的定位组件；各夹持模块均包括设于各凹槽两侧槽壁之间的滑槽、分别设于各滑槽两侧槽壁上的限位槽、活动于各限位槽之间的限位片以及固定连接于各限位片之间且在滑槽内活动的转动销，各转动销上均固定连接有翻转夹块，各翻转夹块的两侧均间隔设有若干个且贯穿翻转夹块顶部和底部的第一卡槽、第二卡槽、相互对应的第三卡槽、相互对应的第四卡槽以及相互对应的第五卡槽；所述定位组件包括若干个分别间隔固定连接于所述翻转夹块顶部且分别位于各卡槽之间的定位块，所述凹槽靠近底部的槽壁上以及各凹槽靠近顶部的槽底上均间隔设有若干个用于和定位块卡接的限位组件。

优选为：所述限位组件包括定位槽以及分别设于该定位槽的顶部槽壁和底部槽壁的限位块，各限位块的两端均通过扭簧与定位槽的两侧槽壁铰接，且两个限位块之间形成有用于限制定位块活动的夹持槽。

优选为：所述限位块的截面形状为椭圆形，所述定位块的截面形状为圆形。