[实用新型]一种具有散热设备的真空镀膜机有效
申请号: | 201822224459.6 | 申请日: | 2018-12-28 |
公开(公告)号: | CN209428587U | 公开(公告)日: | 2019-09-24 |
发明(设计)人: | 蒋贵霞;贾建国 | 申请(专利权)人: | 昆山英利悦电子有限公司 |
主分类号: | C23C14/22 | 分类号: | C23C14/22 |
代理公司: | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人: | 董建林 |
地址: | 215300 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 镀膜机 腔体 支撑杆 内层 底板 真空镀膜机 散热水管 放置架 本实用新型 驱动单元 散热设备 放料板 连通 空腔结构 内部连通 腔体外部 生产效率 水箱连通 输出轴 散热 水箱 水泵 开口 | ||
1.一种具有散热设备的真空镀膜机,其特征在于,包括:
镀膜机腔体,所述镀膜机腔体包括内层和外层;
放置架,所述放置架设于所述镀膜机腔体内,其包括底板、支撑杆和若干个放料板;
所述底板设于所述镀膜机腔体的底部,所述支撑杆为空腔结构,其垂直于所述底板设置,一端与所述底板固定相连,另一端上设有与其内部连通的开口,且贯穿所述镀膜机腔体内层的顶壁;各放料板内部均设有空腔,且分别与所述支撑杆内的空腔连通;
第一散热水管,所述第一散热水管设于所述镀膜机腔体的内层与外层之间,呈迂回型,一端与镀膜机腔体外部水箱内的水泵相连,另一端与所述支撑杆上远离底板的一端相连通;
第二散热水管,所述第二散热设于所述镀膜机腔体的内层与外层之间,其长度小于第一散热水管的长度,一端与镀膜机腔体外部水箱连通,另一端与所述支撑杆上远离底板的一端相连通;
驱动单元,所述驱动单元设于镀膜机腔体的内层和外层之间,且输出轴与所述放置架的底部相连。
2.根据权利要求1所述的一种具有散热设备的真空镀膜机,其特征在于:所述放料板上设有滑槽,所述滑槽的延伸方向与所述放料板的延伸方向相同,且滑槽内设有与放料板垂直的挡板。
3.根据权利要求2所述的一种具有散热设备的真空镀膜机,其特征在于:所述挡板与支撑杆之间通过弹性件相连。
4.根据权利要求2所述的一种具有散热设备的真空镀膜机,其特征在于:所述挡板的高度为竖直方向上相邻两个放料板间距的1/5~1/4。
5.根据权利要求1所述的一种具有散热设备的真空镀膜机,其特征在于:所述第一散热水管的均匀分布在镀膜机腔体的内层和外层之间。
6.根据权利要求1所述的一种具有散热设备的真空镀膜机,其特征在于:所述镀膜机腔体的外层上还设有散热翅片。
7.根据权利要求1所述的一种具有散热设备的真空镀膜机,其特征在于:所述镀膜机腔体的内层和外层之间设有冷凝器。
8.根据权利要求1所述的一种具有散热设备的真空镀膜机,其特征在于:所述第一散热水管中的水流方向为从水箱流到支撑杆和放料板内;所述第一散热水管中的水流方向为从支撑杆流到水箱。
9.根据权利要求1所述的一种具有散热设备的真空镀膜机,其特征在于:所述支撑杆上远离底板的端部的开口与第一散热水管和第二散热水管之间通过变径三通接头相连。
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