[实用新型]一种具有散热设备的真空镀膜机

说明书

本实用新型公开了一种具有散热设备的真空镀膜机，包括镀膜机腔体、放置架、第一散热水管、第二散热水管和驱动单元，镀膜机腔体包括内层和外层；放置架包括底板、支撑杆和若干个放料板；底板设于镀膜机腔体底部，支撑杆为空腔结构，一端与底板相连，另一端设有与其内部连通的开口；放料板内部均设有空腔，与支撑杆连通；第一散热水管设于镀膜机腔体的内层与外层之间，一端与水箱内的水泵相连，另一端与支撑杆相连通；第二散热设于镀膜机腔体的内层与外层之间，一端与镀膜机腔体外部水箱连通，另一端与支撑杆连通；驱动单元设于镀膜机腔体的内层和外层之间，且输出轴与放置架的底部相连。本实用新型能够大大缩短真空镀膜机的降温时间，提高生产效率。

技术领域

本实用新型属于真空镀膜技术领域，具体涉及一种具有散热设备的真空镀膜机。

背景技术

真空镀膜机指的就是真空度较高的情况下进行的镀膜设备，大致包括真空离子蒸发镀膜机、磁控溅射镀膜机、PLD激光溅射沉积镀膜机等。由于真空镀膜机在进行镀膜的时候，必须通过加热装置将其内部的温度加热至很高的温度后，才能够开始镀膜工作，当完成镀膜后，需要待其内部温度降下来后才能够进行取料。由于现有技术中的真空镀膜机内的降温散热效果大多达不到要求，造成在生产时需要耗费大量的时间去等待降温，从而增大了生产的时间成本以及人力成本。

实用新型内容

针对上述问题，本实用新型提出一种具有散热设备的真空镀膜机，能够大大缩短真空镀膜机的降温时间，提高生产效率。

实现上述技术目的，达到上述技术效果，本实用新型通过以下技术方案实现：

一种具有散热设备的真空镀膜机，包括：

镀膜机腔体，所述镀膜机腔体包括内层和外层；

放置架，所述放置架设于所述镀膜机腔体内，其包括底板、支撑杆和若干个放料板；所述底板设于所述镀膜机腔体的底部，所述支撑杆为空腔结构，其垂直于所述底板设置，一端与所述底板固定相连，另一端上设有与其内部连通的开口，且贯穿所述镀膜机腔体内层的顶壁；各放料板内部均设有空腔，且分别与所述支撑杆内的空腔连通；

第一散热水管，所述第一散热水管设于所述镀膜机腔体的内层与外层之间，呈迂回型，一端与镀膜机腔体外部水箱内的水泵相连，另一端与所述支撑杆上远离底板的一端相连通；

第二散热水管，所述第二散热设于所述镀膜机腔体的内层与外层之间，其长度小于第一散热水管的长度，一端与镀膜机腔体外部水箱连通，另一端与所述支撑杆上远离底板的一端相连通；

驱动单元，所述驱动单元设于镀膜机腔体的内层和外层之间，且输出轴与所述放置架的底部相连。

作为本实用新型的进一步改进，所述放料板上设有滑槽，所述滑槽的延伸方向与所述放料板的延伸方向相同，且滑槽内设有与放料板垂直的挡板。

作为本实用新型的进一步改进，所述挡板与支撑杆之间通过弹性件相连。

作为本实用新型的进一步改进，所述挡板的高度为竖直方向上相邻两个放料板间距的1/5～1/4。

作为本实用新型的进一步改进，所述第一散热水管的均匀分布在镀膜机腔体的内层和外层之间。

作为本实用新型的进一步改进，所述镀膜机腔体的外层上还设有散热翅片。

作为本实用新型的进一步改进，所述镀膜机腔体的内层和外层之间设有冷凝器。

作为本实用新型的进一步改进，所述第一散热水管中的水流方向为从水箱流到支撑杆和放料板内；所述第一散热水管中的水流方向为从支撑杆流到水箱。

作为本实用新型的进一步改进，所述支撑杆上远离底板的端部的开口与第一散热水管和第二散热水管之间通过变径三通接头相连。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果：