[实用新型]玻璃微熔压力传感器

权利要求书

1.一种玻璃微熔压力传感器，其特征在于，包括：

基体，所述基体包括顶部和相对的底部，以及位于顶部和底部之间的侧部，所述基体中具有压力腔，所述压力腔具有进压口，进压口贯穿基体的底部表面；

位于基体侧部的形变膜片，所述形变膜片包括内表面和与内表面相对的外表面，形变膜片的内表面与压力腔的部分侧面腔体壁重合；

位于形变膜片的外表面上的应变片。

2.如权利要求1所述玻璃微熔压力传感器，其特征在于，所述形变膜片与基体的侧部为一体结构。

3.如权利要求1所述玻璃微熔压力传感器，其特征在于，所述基体的材料为金属，所述形变膜片的材料为金属，所述应变片通过玻璃微熔的方式粘贴在形变膜片的外表面上。

4.如权利要求1所述玻璃微熔压力传感器，其特征在于，所述应变片为硅应变片。

5.如权利要求4所述玻璃微熔压力传感器，其特征在于，所述硅应变片的数量为4个，所述4个硅应变片通过金属连线连接成惠斯登电桥。

6.如权利要求5所述玻璃微熔压力传感器，其特征在于，还包括：PCB板，所述PCB板固定在基体表面，所述PCB板包括电连接的信号处理PCB板和线路连接PCB板，线路连接PCB板与惠斯登电桥电连接。

7.如权利要求6所述玻璃微熔压力传感器，其特征在于，还包括：外壳，所述外壳固定在基体的外表面，所述外壳将PCB板、应变片和形变膜片包覆；所述外壳上设置有连接头，所述连接头与信号处理PCB板电连接。

8.如权利要求1所述玻璃微熔压力传感器，其特征在于，待测压力的气体或液体通过进压口进入压力腔，所述形变膜片与进压口方向平行。

9.如权利要求1所述玻璃微熔压力传感器，其特征在于，所述进压口两侧的基体的侧部表面还具有安装螺纹。

10.如权利要求1所述玻璃微熔压力传感器，其特征在于，所述压力腔包括相互贯穿的第一压力腔和第二压力腔，第一压力腔的直径大于第二压力腔的直径，所述第一压力腔具有进压口，所述形变膜片与第二压力腔的侧面腔体壁接触。