[实用新型]一种出水均匀的刻蚀水膜喷淋装置有效
申请号: | 201822234319.7 | 申请日: | 2018-12-28 |
公开(公告)号: | CN209873180U | 公开(公告)日: | 2019-12-31 |
发明(设计)人: | 江顺钦;徐华浦;缪云展;曹磊 | 申请(专利权)人: | 阜宁苏民绿色能源科技有限公司 |
主分类号: | C30B33/10 | 分类号: | C30B33/10;H01L31/18 |
代理公司: | 32224 南京纵横知识产权代理有限公司 | 代理人: | 朱海琳;董建林 |
地址: | 224400 江苏省盐*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 储水罐 流量计 水管 喷嘴 液位计 长度方向设置 储水罐进水口 水膜喷淋装置 本实用新型 独立可控 依次连接 出水区 溢流板 溢流区 出水 刻蚀 平行 | ||
1.一种出水均匀的刻蚀水膜喷淋装置,其特征是,包括圆柱形储水罐、液位计、流量计、若干水管以及若干喷嘴,所述水管平行于所述储水罐长度方向设置,与其底部依次连接,所述水管底部沿长度方向依次设有若干所述喷嘴,所述液位计设置在所述储水罐内,所述流量计设置在所述储水罐进水口,所述储水罐一端内侧还设有溢流板,将所述储水罐分为溢流区与出水区。
2.根据权利要求1所述的一种出水均匀的刻蚀水膜喷淋装置,其特征是,所述溢流板高度为所述储水罐直径的60~80%。
3.根据权利要求1所述的一种出水均匀的刻蚀水膜喷淋装置,其特征是,所述储水罐长度为100-180cm,直径为30-50cm。
4.根据权利要求3所述的一种出水均匀的刻蚀水膜喷淋装置,其特征是,所述水管长度为18-22cm,内径为1.5-2.5cm。
5.根据权利要求1所述的一种出水均匀的刻蚀水膜喷淋装置,其特征是,所述水管与所述储水罐之间通过流量调节阀连接。
6.根据权利要求1所述的一种出水均匀的刻蚀水膜喷淋装置,其特征是,每个所述水管连接5-7个所述喷嘴。
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