[实用新型]一种出水均匀的刻蚀水膜喷淋装置

说明书

本实用新型公开了一种出水均匀的刻蚀水膜喷淋装置，包括圆柱形储水罐、液位计、流量计、若干水管以及若干喷嘴，所述水管平行于所述储水罐长度方向设置，与其底部依次连接，所述水管底部沿长度方向依次设有若干所述喷嘴，所述液位计设置在所述储水罐内，所述流量计设置在所述储水罐进水口，所述储水罐一端内侧还设有溢流板，将所述储水罐分为溢流区与出水区。本装置具有各道出水均匀且独立可控的特点。

技术领域

本实用新型涉及一种出水均匀的刻蚀水膜喷淋装置，属于太阳能光伏电池制造技术领域。

背景技术

在太阳能电池执照领域，水膜作为保护扩散后P-N结刻蚀过程中不被腐蚀的一种方式，已经广泛应用于湿法刻蚀。水膜质量的好坏也影响着刻蚀后硅片的外观、电池片的电性能等。水膜过薄会引起覆盖硅片不全，导致过刻、边缘发白、EL下检测边缘发黑等，严重影响外观和电性能。水膜过厚会在刻蚀槽中掉水，稀释刻蚀槽酸液浓度，进而影响边缘刻蚀效果以及增加药液耗量，造成刻蚀效果不充分，化学成本增加。

目前5道，尤其8道刻蚀机台中，各道次水膜喷水水压不稳，极易造成道次间存在差异，造成水膜过薄或者过厚。因此如何缩小各道次间水膜喷水差异同时保证水膜质量成为亟待解决的难题。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是，提供一种出水均匀的刻蚀水膜喷淋装置。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案为：

一种出水均匀的刻蚀水膜喷淋装置，包括圆柱形储水罐、液位计、流量计、若干水管以及若干喷嘴，所述水管平行于所述储水罐长度方向设置，与其底部依次连接，所述水管底部沿长度方向依次设有若干所述喷嘴，所述液位计设置在所述储水罐内，所述流量计设置在所述储水罐进水口，所述储水罐一端内侧还设有溢流板，将所述储水罐分为溢流区与出水区。

进一步的，所述溢流板高度为所述储水罐直径的60～80％。

进一步的，所述储水罐长度为100-180cm，直径为30-50cm。

进一步的，所述水管长度为18-22cm，内径为1.5-2.5cm。

进一步的，所述水管与所述储水罐之间通过流量调节阀连接。

进一步的，每个所述水管连接5-7个所述喷嘴。

本实用新型所达到的有益效果：通过增加储水罐以及内部溢流板设置，可以有效控制液面高度，保证喷淋的水压大小与水压的稳定性，使各道出水均匀，保证了水膜质量以及质量稳定性，通过设置流量控制阀，可以实现各道出水独立可控。

附图说明

图1是常规使用的喷淋装置；

图2是实施例结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案，而不能以此来限制本实用新型的保护范围。

如图2所示，一种出水均匀的刻蚀水膜喷淋装置，包括圆柱形储水罐1、5组水管2以及对应每组水管的5*7个喷嘴3，储水罐长度为110cm，直径为40cm，水管长度为20cm，内径为2cm，储水罐其长度方向垂直于硅片行进方向设置，水管2平行于储水罐1长度方向设置，与其底部依次连接，连接管道上设有流量调节阀4，可对每个水管单独进行控制，水管2底部沿长度方向依次设有7个喷嘴，液位计设置在储水罐内用于检测液面高度，流量计设置在储水罐进水口用于检测流量，储水罐左端内侧设有溢流板，将储水罐分为溢流区与出水区，溢流板高度为储水罐直径的60～80％，可用于控制液面高度，进而实现对水压大小的控制，避免了如图1所示的常规水管水压不可控的问题，溢流区还设置有出流口(图中未标示出)，用于排液，从右侧进水口进水后，超出溢流板的水溢出至左侧，保持右侧液面高度稳定，即确保出水水压稳定。