[实用新型]蒸镀装置有效
申请号: | 201822246154.5 | 申请日: | 2018-12-28 |
公开(公告)号: | CN209702839U | 公开(公告)日: | 2019-11-29 |
发明(设计)人: | 黄航 | 申请(专利权)人: | TCL集团股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24 |
代理公司: | 44414 深圳中一联合知识产权代理有限公司 | 代理人: | 张全文<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
地址: | 516006 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 传送机构 第二容器 第一容器 蒸镀腔室 加料腔 加料装置 蒸镀材料 隔板 本实用新型 蒸镀装置 加料 室内 真空蒸镀技术 手动添加 可打开 蒸镀腔 移位 膜厚 腔室 传送 隔离 运送 配置 | ||
1.一种蒸镀装置,其特征在于:包括蒸镀腔室、加料腔室、设于所述蒸镀腔室内的第一容器,以及设于所述加料腔室内的加料装置,在所述蒸镀腔室与所述加料腔室之间的隔板上设有可打开的窗口,所述加料装置包括第一传送机构以及安装在所述第一传送机构上的第二容器,所述第一传送机构被配置为通过打开的所述窗口将所述第二容器从所述加料腔室传送至所述蒸镀腔室,所述第二容器用于向所述第一容器添加蒸镀材料。
2.根据权利要求1所述的蒸镀装置,其特征在于:所述第二容器为漏斗,所述漏斗的出料口设有用于控制蒸镀材料添加量的控制装置。
3.根据权利要求2所述的蒸镀装置,其特征在于:所述控制装置包括铰接于所述漏斗的出料口处的磁性盖板以及设于所述漏斗外以驱动所述磁性盖板开合的磁感应驱动单元。
4.根据权利要求3所述的蒸镀装置,其特征在于:所述磁性盖板包括两个相对称的半圆形永磁体板,且所述两个永磁体板的直径边相对接;所述两个永磁体板的弧顶端分别与漏斗出口处铰接。
5.根据权利要求1所述的蒸镀装置,其特征在于:所述第二容器与所述第一传送机构可拆卸连接。
6.根据权利要求1所述的蒸镀装置,其特征在于:所述第一传送机构包括设于所述加料腔室内的第一移动装置以及安装于所述第一移动装置上的传送杆,所述第二容器安装于所述传送杆上,所述第一移动装置用于带动所述传送杆通过所述窗口。
7.根据权利要求1所述的蒸镀装置,其特征在于:所述第一容器的出料口上盖设有盖体,所述蒸镀腔室内还设有可移动所述盖体以打开或关闭所述第一容器出料口的第二传送机构。
8.根据权利要求7所述的蒸镀装置,其特征在于:所述第二传送机构包括第二移动装置以及安装于所述第二移动装置上的传送臂,所述传送臂的端部设有可拾取或松开所述盖体的拾取装置。
9.根据权利要求8所述的蒸镀装置,其特征在于:所述第一容器为多个,每个所述第一容器的出料口上对应设置所述的盖体。
10.根据权利要求1所述的蒸镀装置,其特征在于:所述蒸镀腔室和所述加料腔室还连通有抽真空装置。
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