[实用新型]蒸镀装置

说明书

本实用新型涉及真空蒸镀技术领域，提供一种蒸镀装置包括蒸镀腔室、加料腔室、设于蒸镀腔室内的第一容器，以及设于加料腔室内的加料装置，在蒸镀腔室与加料腔室之间的隔板上设有可打开的窗口，加料装置包括第一传送机构以及安装在第一传送机构上的第二容器，第一传送机构被配置为通过打开的所述窗口将第二容器从加料腔室传送至蒸镀腔室，第二容器用于向第一容器添加蒸镀材料。本实用新型提供的蒸镀装置中，通过隔板和关闭的窗口将两腔室隔离，当需要加料时，窗口打开，第一传送机构将有蒸镀材料的第二容器运送至蒸镀腔室向第一容器添加蒸镀材料，整个加料过程通过加料装置完成，避免因手动添加材料使第一容器移位而导致膜厚发生偏差。

技术领域

本实用新型涉及真空蒸镀技术领域，尤其提供一种蒸镀装置。

背景技术

有机发光二极管(Organic Light Emitting Diode，OLED)由于具有驱动电压低、发光亮度和发光效率高、发光视角宽、响应速度快、超薄，重量轻、全固化的主动发光、可制作在柔性衬底上，器件可弯曲等优势，越来越受到学术界与产业界的关注，成为了显示技术中第三代显示器的主力军。

有机发光二极管是一种含有多层功能层的三明治结构器件，包括阳极、阴极，以及设在阳极和阴极之间的有机功能层。有机功能层一般可分为空穴注入层(Hole InjectionLayer，HIL)、空穴传输层(Hole Transport Layer，HTL)、发光层(Emissive Layer，EML)、电子传输层(Electron Transport Layer，ETL)、电子注入层(Electron Injection Layer，EIL)。

现有制备OLED器件的技术主要是采用真空热蒸镀的方法，即在高真空蒸镀腔内，通过加热有机功能材料，使其蒸发而沉积在基底上。实验室使用的大多是小型的研发设备，有机功能材料盛放在小型的坩埚内，蒸镀几次后就需要往坩埚内添加材料。而目前添加材料的方法一般是将坩埚取出，添加材料后再放回，那么取放坩埚的过程中则可能使其位置发生变化，而导致最终沉积在基板上的膜厚出现偏差，因此一般添加材料后需要先对膜厚进行校正，这一过程浪费了较多的材料与时间。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种蒸镀装置，旨在解决现有技术中蒸镀装置手工加料需要较正膜厚而带来的效率低及材料浪费的技术问题。

为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种蒸镀装置，包括蒸镀腔室、加料腔室、设于所述蒸镀腔室内的第一容器，以及设于所述加料腔室内的加料装置，在所述蒸镀腔室与所述加料腔室之间的隔板上设有可打开的窗口，所述加料装置包括第一传送机构以及安装在所述第一传送机构上的第二容器，所述第一传送机构被配置为通过打开的所述窗口将所述第二容器从所述加料腔室传送至所述蒸镀腔室，所述第二容器用于向所述第一容器添加蒸镀材料。

进一步地，所述第二容器为漏斗，所述漏斗上设有可控制蒸镀材料添加量的控制装置。

进一步地，所述控制装置包括铰接于所述漏斗的出料口处的磁性盖板以及设于所述漏斗外以驱动所述磁性盖板开合的磁感应驱动单元。

进一步地，所述所述磁性盖板包括两个相对称的半圆形永磁体板，且所述两个永磁体板的直径边相对接；所述两个永磁体板的弧顶端分别与漏斗出口处铰接。

进一步地，所述第二容器与所述第一传送机构可拆卸连接。

进一步地，所述第一传送机构包括设于所述加料腔室内的第一移动装置以及安装于所述第一移动装置上的传送杆，所述第二容器安装于所述传送杆上，所述第一移动装置用于带动所述传送杆通过所述窗口在所述蒸镀腔室与所述加料腔室之间往返运动。

进一步地，所述第一容器的出料口上盖设有盖体，所述蒸镀腔室内还设有可移动所述盖体以打开或封闭所述第一容器出料口的第二传送机构。