[实用新型]一种芯片夹具有效
申请号: | 201822247412.1 | 申请日: | 2018-12-28 |
公开(公告)号: | CN209401608U | 公开(公告)日: | 2019-09-17 |
发明(设计)人: | 曾建武;刘格;杨彦伟;刘宏亮 | 申请(专利权)人: | 深圳市芯思杰智慧传感技术有限公司 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687 |
代理公司: | 深圳智汇远见知识产权代理有限公司 44481 | 代理人: | 田俊峰 |
地址: | 518000 广东省深圳市南*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 装片 芯片 底板 芯片夹具 第一表面 盖板 本实用新型 搭接机构 滑动连接 环境连通 划伤 清洗 摩擦 移动 | ||
1.一种芯片夹具,其特征在于,包括沿所述夹具厚度方向依次平行设置的底板(1)、至少一个装片板和盖板(4);
所述底板(1)与所述装片板间、相邻的所述装片板间和所述盖板(4)与所述装片板间分别通过搭接机构连接;
所述装片板的第一表面设有至少一个装片槽,所述底板(1)的第一表面设有至少一个装片槽,所述装片槽与所述芯片夹具所处环境连通。
2.根据权利要求1所述的一种芯片夹具,其特征在于,所述搭接机构包括搭接槽(10)和搭接凸起(11);
所述底板(1)与所述装片板间的所述搭接机构的搭接槽(10)设于所述底板(1)和所述装片板中的一个上,所述搭接凸起(11)设于另一个上;
相邻的所述装片板间的所述搭接机构的搭接槽(10)设于相邻的所述装片板中的一个上,所述搭接凸起(11)设于另一个上;
所述盖板(4)与所述装片板间的所述搭接机构的搭接槽(10)设于所述盖板(4)和所述装片板中的一个上,所述搭接凸起(11)设于另一个上。
3.根据权利要求2所述的一种芯片夹具,其特征在于,还包括第一垫板(5)、第二垫板(6)和至少一个限位杆;
所述底板(1)远离所述装片板的一面为其第二表面,所述盖板(4)远离所述装片板的一面为其第一表面;
所述底板(1)的第二表面设有第一滑槽,所述第一垫板(5)设于所述第一滑槽内且可滑动;所述盖板(4)的第一表面设有第二滑槽,所述第二垫板(6)设于所述第二滑槽内且可滑动;
所述第二垫板(6)、所述盖板(4)、每个所述装片板、所述底板(1)和所述第一垫板(5)均对应设有至少一个限位孔(7),所述限位杆分别贯穿所述第二垫板(6)的限位孔(7)、所述盖板(4)的限位孔(7)、每个所述装片板的限位孔(7)、所述底板(1)的限位孔(7)和所述第一垫板(5)的限位孔(7),所述限位杆的一端套设有与所述第一垫板(5)相抵的第一限位环,所述限位杆的另一端套设有与所述第二垫板(6)相抵的第二限位环。
4.根据权利要求3所述的一种芯片夹具,其特征在于,所述装片板远离所述底板(1)的一面为其第一表面,所述底板(1)与所述装片板连接的一面为其第一表面,所述装片板的第一表面和所述底板(1)的第一表面均为装片面;
所述装片面设有至少两个相互平行的第一凸棱(8)和至少两个相互平行的第二凸棱(9),所述第一凸棱(8)和所述第二凸棱(9)垂直且等高,所述第一凸棱(8)与所述第二凸棱(9)交叉形成矩形的凸棱网格,所述凸棱网格中具有至少一个由两个所述第一凸棱(8)和两个所述第二凸棱(9)环绕形成的所述装片槽。
5.根据权利要求4所述的一种芯片夹具,其特征在于,所述装片面设有两个所述搭接槽(10),所述搭接槽(10)的底与其所处的装片面等高;
一个所述搭接槽(10)设于最外侧的一个所述第一凸棱(8)外侧,一个所述搭接槽(10)由最外侧的两个第二凸棱(9)和最外侧的一个所述第一凸棱(8)环绕而成;
另一个所述搭接槽(10)设于最外侧的另一个所述第一凸棱(8)外侧,另一个所述搭接槽(10)由最外侧的两个第二凸棱(9)和最外侧的另一个所述第一凸棱(8)环绕而成。
6.根据权利要求4所述的一种芯片夹具,其特征在于,所述装片槽包括第三底和第一立壁、第二立壁、第三立壁和第四立壁,所述第一立壁和所述第二立壁为所述第一凸棱(8)的片段,所述第三立壁和所述第四立壁为所述第二凸棱(9)的片段;
所述第一立壁和所述第二立壁的中点分别设有第一槽(12),所述第一槽(12)分别贯穿所述第一立壁和所述第二立壁,所述第一槽(12)的底与其所处的装片面等高。
7.根据权利要求6所述的一种芯片夹具,其特征在于,所述装片槽设有两个分别与所述第一凸棱(8)平行的第二槽(13);
所述第二槽(13)依次贯穿所述第三立壁、所述第三底和所述第四立壁(18),所述第二槽(13)的底低于其所处的装片面;
一个所述第二槽(13)与所述第一立壁连接,另一个所述第二槽(13)与所述第二立壁(23)连接。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造