[实用新型]一种三自由度精密运动平台

权利要求书

1.一种三自由度精密运动平台，其特征在于，包括：平台基座、第一运动组件、第二运动组件、第三运动组件和动平台；

所述第一运动组件第一端连接所述平台基座，第二端连接所述动平台；

所述第二运动组件第一端连接所述平台基座，第二端连接所述动平台；

所述第三运动组件第一端连接所述平台基座，第二端连接所述动平台；

所述第一运动组件、所述第二运动组件、所述第三运动组件与所述动平台的连接点不在同一点。

2.根据权利要求1所述的三自由度精密运动平台，其特征在于，所述第一运动组件包括：第一压电陶瓷驱动器、第一柔性铰链组、第一杠杆组和用于支撑所述第一运动组件的第一安装架；

所述第一安装架安装在所述平台基座上；

所述第一压电陶瓷驱动器装配在所述第一安装架上；

所述第一杠杆组包括第一杠杆和第二杠杆，所述第一柔性铰链组包括第一首柔性铰链、第一中柔性铰链和第一尾柔性铰链，且所述第一首柔性铰链、所述第一杠杆、所述第一中柔性铰链、所述第二杠杆、所述第一尾柔性铰链由下至上层叠设置于所述第一压电陶瓷驱动器和所述动平台之间；

所述第一首柔性铰链连接所述第一压电陶瓷驱动器，所述第一尾柔性铰链连接所述动平台。

3.根据权利要求2所述的三自由度精密运动平台，其特征在于，所述第一安装架为U型结构，所述第一杠杆和所述第二杠杆分别装配在所述第一安装架的两个凸起端，用于安装所述第一杠杆的凸起端的高度低于用于安装所述第二杠杆凸起端的高度；

所述第一压电陶瓷驱动器安装在所述第一安装架的凹槽内。

4.根据权利要求2所述的三自由度精密运动平台，其特征在于，所述第一首柔性铰链设置于所述第一杠杆的长度方向上的正中位置处。

5.根据权利要求1所述的三自由度精密运动平台，其特征在于，所述第二运动组件包括：第二压电陶瓷驱动器、第二柔性铰链组、第二杠杆组和用于支撑所述第二运动组件的第二安装架；

所述第二安装架安装在所述平台基座上；

所述第二压电陶瓷驱动器装配在所述第二安装架上；

所述第二杠杆组包括第三杠杆和第四杠杆，所述第二柔性铰链组包括第二首柔性铰链、第二中柔性铰链和第二尾柔性铰链，且所述第二首柔性铰链、所述第三杠杆、所述第二中柔性铰链、所述第四杠杆、所述第二尾柔性铰链由下至上层叠设置于所述第二压电陶瓷驱动器和所述动平台之间；

所述第二首柔性铰链连接所述第二压电陶瓷驱动器，所述第二尾柔性铰链连接所述动平台。

6.根据权利要求5所述的三自由度精密运动平台，其特征在于，所述第二安装架为U型结构，所述第三杠杆和所述第四杠杆分别装配在所述第二安装架的两个凸起端，用于安装所述第三杠杆的凸起端的高度低于用于安装所述第四杠杆凸起端的高度；

所述第二压电陶瓷驱动器安装在所述第二安装架的凹槽内。

7.根据权利要求1所述的三自由度精密运动平台，其特征在于，所述第三运动组件包括：第三压电陶瓷驱动器、第三柔性铰链组、第三杠杆组和用于支撑所述第三运动组件的第三安装架；

所述第三安装架安装在所述平台基座上；

所述第三压电陶瓷驱动器装配在所述第三安装架上；

所述第三杠杆组包括第五杠杆和第六杠杆，所述第三柔性铰链组包括第三首柔性铰链、第三中柔性铰链和第三尾柔性铰链，且所述第三首柔性铰链、所述第五杠杆、所述第三中柔性铰链、所述第六杠杆、所述第三尾柔性铰链由下至上层叠设置于所述第三压电陶瓷驱动器和所述动平台之间；

所述第三首柔性铰链连接所述第三压电陶瓷驱动器，所述第三尾柔性铰链连接所述动平台。

8.根据权利要求7所述的三自由度精密运动平台，其特征在于，所述第三安装架为U型结构，所述第五杠杆和所述第六杠杆分别装配在所述第三安装架的两个凸起端，用于安装所述第五杠杆的凸起端的高度低于用于安装所述第六杠杆凸起端的高度；

所述第三压电陶瓷驱动器安装在所述第三安装架的凹槽内。