[实用新型]一种三自由度精密运动平台

说明书

本申请公开了一种三自由度精密运动平台，包括：平台基座、第一运动组件、第二运动组件、第三运动组件和动平台；第一运动组件第一端连接平台基座，第二端连接动平台；第二运动组件第一端连接平台基座，第二端连接动平台；第三运动组件第一端连接平台基座，第二端连接动平台；第一运动组件、第二运动组件、第三运动组件与动平台的连接点不在同一点，解决了现有运动平台因较多的连带环节及运动组件，使得运动误差积累严重，难以同时满足多自由度和高精度的技术问题。

技术领域

本申请属于运动平台技术领域，尤其涉及一种三自由度精密运动平台。

背景技术

随着科学研究和先进制造技术的发展，产品表面形貌越来越多样化，由传统工程表面，发展到越来越多科学表面，由平滑表面发展到结构性表面。因此对于产品的表面形貌进行检测，变得尤为重要。

现有技术中，通过白光干涉仪对超精密表面形貌进行检测，得到较为精密的结果，白光干涉仪是利用干涉原理，测量光程之差从而测定有关物理量的光学仪器。但现有白光干涉仪的可偏摆平台是数个单轴平台简单叠加，具有较多的连带环节及运动组件，使得运动误差积累严重，难以同时满足多自由度和高精度。

实用新型内容

有鉴于此，本申请提供了一种三自由度精密运动平台，解决了现有运动平台因较多的连带环节及运动组件，使得运动误差积累严重，难以同时满足多自由度和高精度的技术问题。

本申请提供了一种三自由度精密运动平台，包括：平台基座、第一运动组件、第二运动组件、第三运动组件和动平台；

所述第一运动组件第一端连接所述平台基座，第二端连接所述动平台；

所述第二运动组件第一端连接所述平台基座，第二端连接所述动平台；

所述第三运动组件第一端连接所述平台基座，第二端连接所述动平台；

所述第一运动组件、所述第二运动组件、所述第三运动组件与所述动平台的连接点不在同一点。

优选地，所述第一运动组件包括：第一压电陶瓷驱动器、第一柔性铰链组、第一杠杆组和用于支撑所述第一运动组件的第一安装架；

所述第一安装架安装在所述平台基座上；

所述第一压电陶瓷驱动器装配在所述第一安装架上；

所述第一杠杆组包括第一杠杆和第二杠杆，所述第一柔性铰链组包括第一首柔性铰链、第一中柔性铰链和第一尾柔性铰链，且所述第一首柔性铰链、所述第一杠杆、所述第一中柔性铰链、所述第二杠杆、所述第一尾柔性铰链由下至上层叠设置于所述第一压电陶瓷驱动器和所述动平台之间；

所述第一首柔性铰链连接所述第一压电陶瓷驱动器，所述第一尾柔性铰链连接所述动平台。

优选地，所述第一安装架为U型结构，所述第一杠杆和所述第二杠杆分别装配在所述第一安装架的两个凸起端，用于安装所述第一杠杆的凸起端的高度低于用于安装所述第二杠杆凸起端的高度；

所述第一压电陶瓷驱动器安装在所述第一安装架的凹槽内。

优选地，所述第一首柔性铰链设置于所述第一杠杆的长度方向上的正中位置处。

优选地，所述第二运动组件包括：第二压电陶瓷驱动器、第二柔性铰链组、第二杠杆组和用于支撑所述第二运动组件的第二安装架；

所述第二安装架安装在所述平台基座上；

所述第二压电陶瓷驱动器装配在所述第二安装架上；