[实用新型]一种环形激光器电极铟封质量检测系统有效
申请号: | 201822261631.5 | 申请日: | 2018-12-30 |
公开(公告)号: | CN209296282U | 公开(公告)日: | 2019-08-23 |
发明(设计)人: | 刘文明;郭岩龙;王鹏;杨长城;李林军;陈超人 | 申请(专利权)人: | 华中光电技术研究所(中国船舶重工集团有限公司第七一七研究所) |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02 |
代理公司: | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人: | 许美红 |
地址: | 430223 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 玻璃腔体 质量检测系统 环形激光器 偏振光成像 电极 本实用新型 混合反射光 线偏振光源 检偏器 波片 成像 工业CCD相机 反射光成像 表面反射 线偏振光 反射光 斜入射 封接 圈界 杂光 瑕疵 照射 观测 检测 | ||
1.一种环形激光器电极铟封质量检测系统,其特征在于,包括线偏振光源和偏振光成像机构;
所述线偏振光源包括光源、抛物面反射镜、毛玻璃和起偏器,所述光源发出的光经过所述抛物面反射镜准直后入射所述毛玻璃,经散射匀光后再入射所述起偏器,转化为线偏振光;
所述偏振光成像机构包括1/4波片、检偏器和工业CCD相机,所述线偏振光呈一定角度入射环形激光器的玻璃腔体,照射到环形激光器的玻璃腔体与铟圈界面上,并在界面形成混合反射光,所述混合反射光经过所述 1/4波片,并通过所述检偏器过滤后,进入所述工业CCD相机成像。
2.根据权利要求1所述的环形激光器电极铟封质量检测系统,其特征在于,所述起偏器的偏振方向与光轴垂直。
3.根据权利要求1所述的环形激光器电极铟封质量检测系统,其特征在于,所述1/4波片的慢轴与光轴垂直,所述1/4波片的慢轴与快轴正交。
4.根据权利要求1所述的环形激光器电极铟封质量检测系统,其特征在于,所述检偏器的偏振方向与1/4波片的快轴同向。
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