[实用新型]一种环形激光器电极铟封质量检测系统

说明书

本实用新型公开了一种环形激光器电极铟封质量检测系统，包括线偏振光源和偏振光成像机构，所述线偏振光源产生的线偏振光斜入射玻璃腔体照射到玻璃腔体与铟圈界面上，并形成混合反射光，所述混合反射光经过偏振光成像机构成像，所述偏振光成像系统包括1/4波片、检偏器和工业CCD相机，所述1/4波片和检偏器可有效滤处玻璃腔体产生的反射光而只让铟圈区域的反射光成像。本实用新型的环形激光器电极铟封质量检测系统消除了玻璃腔体表面反射杂光，增加了铟圈成像的对比度，使封接瑕疵更容易观测，提高铟圈检测的质量。

技术领域

本实用新型涉及环形激光器制造领域，尤其涉及一种环形激光器电极铟封质量检测技术。

背景技术

环形激光器是广泛用于高精度光学计量仪器的标准光源，例如激光陀螺。激光陀螺是惯性技术领域获得了卓有成效的实际应用的高精度光电惯性敏感元件，广泛用于飞机、火箭和坦克上的惯性导航系统。

环形激光器通常采用石英玻璃或微晶玻璃作为激光的谐振腔体。腔体上钻有通光孔道，在多边形顶点处采用光胶方式将反射镜与腔体气密贴装，构成多边形闭环光路。腔体上安装一个阴极和两个阳极，利用腔体内的通光孔道作为激光增益管道，在其中充填氦氖混合气体作为增益介质，在阴极与两个对称安装的阳极之间分别加载相等的电势差，电极放电形成激光增益构成沿相反方向运行的两束环路激光。

环形激光器制作的一个重要的关键是电极与激光谐振腔之间的封接。电极的封接必须保证高度气密性，以防止激光增益气体的泄漏和外界空气进入通光孔道内。电极封接工艺是采用铟焊的形式，铟圈放于电极与腔体之间，通过热压将电极与腔体进行封接，铟封区的封接质量直接关系着激光器的气密性，是制约环形激光器寿命的主要因素，因此对于电极铟封质量的检测显的尤为重要。

现有技术中，由于腔体玻璃反射杂光(特别是与电极铟封的表面)会进入成像系统，因此降低了检测目标的对比度，影响成像质量，严重时有可能无法探测到目标。

实用新型内容

本实用新型针对电极铟封质量检测过程中环形激光器中腔体玻璃的反射杂光会进入成像系统，影响成像质量的问题，提供一种可增加检测目标对比度、提高成像质量的环形激光器电极铟封质量检测系统。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

提供一种环形激光器电极铟封质量检测系统，包括线偏振光源和偏振光成像机构；

所述线偏振光源包括光源、抛物面反射镜、毛玻璃和起偏器，所述光源发出的自然光，经过所述抛物面反射镜准直后入射所述毛玻璃散射匀光后再入射入所述起偏器转化为线偏振光；

所述偏振光成像机构包括1/4波片、检偏器和工业CCD相机，所述线偏振光经斜入射玻璃腔体照射到玻璃腔体与铟圈界面上，并形成混合反射光，所述混合反射光经过所述1/4波片并通过所述检偏器过滤后，进入所述工业CCD相机成像。

接上述技术方案，所述起偏器的偏振方向与光轴垂直。

接上述技术方案，所述1/4波片的慢轴与光轴垂直，所述1/4波片的慢轴与快轴正交。

接上述技术方案，所述检偏器的偏振方向与1/4波片的快轴同向。

本实用新型产生的有益效果是：本实用新型采用偏振光成像的方式，利用金属与玻璃偏振特性的差异，消除了微晶玻璃表面反射杂光，增加了铟封区的对比度及成像质量，从而实现了铟封区封接瑕疵的检测。

附图说明

下面将结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明，附图中：

图1是本实用新型实施例的铟封质量检测示意图系统示意图；

图2是本实用新型实施例的偏振光成像方案原理组成图；

图3是本实用新型实施例的入射光Ei分解示意图；