[实用新型]一种靶材除尘装置有效
| 申请号： | 201822265360.0 | 申请日： | 2018-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN209255392U | 公开（公告）日： | 2019-08-16 |
| 发明（设计）人： | 肖吉军;欧淑;张海涛 | 申请（专利权）人： | 桂林电子科技大学 |
| 主分类号： | B08B5/02 | 分类号： | B08B5/02;B08B7/00;B08B13/00 |
| 代理公司： | 桂林市华杰专利商标事务所有限责任公司 45112 | 代理人： | 覃永峰 |
| 地址： | 541004 广西*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 靶材 吹风口 吸尘网 除尘装置 旋转底座 上端面 吹出 侧面 不干胶 除尘 罩壳 切线 本实用新型 除尘工序 除尘效率 技术要求 罩壳内壁 罩壳内腔 上端 内腔中 口罩 吹风 风向 | ||
1.一种靶材除尘装置，其特征在于，包括
旋转底座，所述旋转底座用于安放靶材；
吹风口，多个吹风口分别位于靶材的上端面上方和侧面旁边；从吹风口吹出的风向朝向靶材的上端面和侧面；
吸尘网罩，所述吸尘网罩涂布有不干胶，吸尘网罩将旋转底座、靶材和吹风口罩在吸尘网罩内腔中；
罩壳，所述罩壳内壁涂布有不干胶，罩壳将吸尘网罩罩在罩壳内腔中。
2.根据权利要求1所述的靶材除尘装置，其特征在于，位于靶材上端面上方的吹风口吹出的气流与靶材的上端面的夹角呈25°-35°。
3.根据权利要求1所述的靶材除尘装置，其特征在于，位于靶材侧面旁边的吹风口吹出的气流与靶材的侧面切线在水平方向上的夹角呈25°-35°。
4.根据权利要求1所述的靶材除尘装置，其特征在于，所述不干胶为油性不干胶。
5.根据权利要求1所述的靶材除尘装置，其特征在于，旋转底座的转动方向与吹风口吹出的风向相反。
6.根据权利要求1所述的靶材除尘装置，其特征在于，旋转底座的转动速度为15-25转/分钟。
7.根据权利要求1所述的靶材除尘装置，其特征在于，所述的吸尘网罩和罩壳呈圆柱体状。
8.根据权利要求1所述的靶材除尘装置，其特征在于，包括底座，所述旋转底座设置在底座的上端面，所述底座上端面设有与吸尘网罩的下端口相适配的第一凹槽，所述吸尘网罩置于第一凹槽上，所述底座上端面设有与罩壳的下端口相适配的第二凹槽，所述罩壳置于第二凹槽上。
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