[实用新型]一种靶材除尘装置

说明书

本实用新型公开了一种靶材除尘装置，包括旋转底座、吹风口、吸尘网罩和罩壳，所述旋转底座用于安放靶材；多个吹风口分别位于靶材的上端面上方和侧面旁边；从吹风口吹出的风向朝向靶材的上端面和侧面；所述吸尘网罩涂布有不干胶，吸尘网罩将旋转底座、靶材和吹风口罩在吸尘网罩内腔中；所述罩壳内壁涂布有不干胶，罩壳将吸尘网罩罩在罩壳内腔中。位于靶材上端面上方的吹风口吹出的气流与靶材的上端面的夹角呈25°‑35°。位于靶材侧面旁边的吹风口吹出的气流与靶材的侧面切线在水平方向上的夹角呈25°‑35°。本除尘装置可以满足除尘工序的技术要求，具有除尘快速、除尘效率高、降低操作人员的用眼强度，除尘彻底的优点。

技术领域

本实用新型涉及靶材除尘领域，尤其是一种靶材除尘装置。

背景技术

靶材生产过程的最后工序是人工除尘并封装，一颗几微米的灰尘就会直接导致芯片废品，所以除尘工序是在无尘车间由工人戴放大镜仔细检查靶材，发现灰尘用笔状细吹风筒吹掉灰尘。由于要求除尘小到微米级，所以除尘工人必须使用放大镜，然而放大镜视野很小，不但除尘效率极低，而且用小视野的放大镜进行全部观察是不可能、也就是无法保障彻底除尘。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对上述情况，提供一种靶材除尘装置，这种除尘装置对5微米以上的灰尘颗粒消除效果优秀，可以满足除尘工序的技术要求。

实现本实用新型目的的技术方案是：

一种靶材除尘装置，包括

旋转底座，所述旋转底座用于安放靶材；

吹风口，多个吹风口分别位于靶材的上端面上方和侧面旁边；从吹风口吹出的风向朝向靶材的上端面和侧面；

吸尘网罩，所述吸尘网罩涂布有不干胶，吸尘网罩将旋转底座、靶材和吹风口罩在吸尘网罩内腔中；

罩壳，所述罩壳内壁涂布有不干胶，罩壳将吸尘网罩罩在罩壳内腔中。

进一步，位于靶材上端面上方的吹风口吹出的气流与靶材的上端面的夹角呈25°-35°。

进一步，位于靶材侧面旁边的吹风口吹出的气流与靶材的侧面切线在水平方向上的夹角呈25°-35°。

进一步，所述不干胶为油性不干胶。

进一步，旋转底座的转动方向与吹风口吹出的风向相反。

进一步，旋转底座的转动速度为15-25转/分钟。

进一步，所述旋转底座与电机连接。

进一步，所述吹风口通过吹风管道与鼓风机连接。

进一步，所述的吸尘网罩和罩壳呈圆柱体状。

进一步，包括底座，所述旋转底座设置在底座的上端面，所述底座上端面设有与吸尘网罩的下端口相适配的第一凹槽，所述吸尘网罩置于第一凹槽上，所述底座上端面设有与罩壳的下端口相适配的第二凹槽，所述罩壳置于第二凹槽上。

电机设置在底座内，与吹风口连通的吹风管道的一端设置在底座的上端面，吹风管道的另一端穿出底座外与鼓风机连通。

将靶材放入除尘装置中的旋转底座上，打开鼓风机，由吹风口出风，除尘2分钟，再翻转靶材，使原靶材的底面朝上，除尘2分钟，即可完成除尘进行封装。

本装置是在一个封闭的圆柱体状罩壳壳体内，引入切向气流，形成与旋转底座转动方向相反的负压旋转气流，即使气流中的灰尘颗粒离心旋转，在离心运动的灰尘颗粒接触到吸尘网罩时有机会被吸附在不干胶上，如果未能吸附而穿过吸尘网罩则在撞击罩壳内壁时将吸附于罩壳内壁的不干胶上，对于极少数未吸附的灰尘有机会被吸附于吸尘网罩的不干胶上，该结构吸附灰尘效率高，极大地降低了灰尘在装置中飞行的时间长度。