[实用新型]一种门车及真空设备

权利要求书

1.一种门车，用于与真空设备的腔室盖合，其特征在于，所述门车包括：门车本体，车架，前轮座、后轮座、第一连接组件以及第二连接组件；

所述车架包括：本体安装部、前轮座安装部和后轮座安装部，所述前轮座安装部和所述后轮座安装部位于所述本体安装部的两侧，所述门车本体固定安装于所述本体安装部，所述前轮座安装部相对所述后轮座安装部靠近所述门车的重心；

所述前轮座通过所述第一连接组件与所述前轮座安装部连接，所述第一连接组件包括第一压紧弹簧，所述第一压紧弹簧抵压在所述前轮座安装部和所述前轮座之间；

所述后轮座通过所述第二连接组件与所述后轮座安装部连接，所述第二连接组件包括第二压紧弹簧，所述第二压紧弹簧抵压在所述后轮座安装部和所述后轮座之间，并且，所述第一压紧弹簧的弹性模量大于所述第二压紧弹簧的弹性模量，以使所述门车本体处于水平。

2.根据权利要求1所述的门车，其特征在于，所述第一压紧弹簧为碟形弹簧，所述第二压紧弹簧为螺旋弹簧。

3.根据权利要求2所述的门车，其特征在于，所述第一连接组件中包括多片第一压紧弹簧，所述多片第一压紧弹簧对合组合。

4.根据权利要求1所述的门车，其特征在于，所述第一连接组件还包括：

第一连接件、第一紧固件和第三压紧弹簧；

所述第一连接件依次穿设于所述第一紧固件、所述第三压紧弹簧、所述前轮座安装部、所述第一压紧弹簧和所述前轮座，所述第三压紧弹簧抵压在所述第一紧固件和所述前轮座安装部之间，所述第一紧固件和所述前轮座均与所述第一连接件连接。

5.根据权利要求4所述的门车，其特征在于，所述第三压紧弹簧为碟形弹簧，所述第一连接组件中包括多片第三压紧弹簧，所述多片第三压紧弹簧对合组合。

6.根据权利要求1所述的门车，其特征在于，所述第二连接组件还包括：

第二连接件、第二紧固件和第四压紧弹簧；

所述第二连接件依次穿设于所述第二紧固件、所述第四压紧弹簧、所述后轮座安装部、所述第二压紧弹簧和所述后轮座，所述第四压紧弹簧抵压在所述第二紧固件和所述后轮座安装部之间，所述第二紧固件和所述后轮座均与所述第二连接件的连接。

7.根据权利要求1所述的门车，其特征在于，所述门车本体上设有冷却液输入口和冷却液输出口，所述门车本体内设置有由所述冷却液输入口延伸至所述冷却液输出口的冷却液流通通道。

8.一种真空设备，其特征在于，包括如权利要求1至7中任一项所述的门车。

9.根据权利要求8所述的真空设备，其特征在于，所述真空设备还包括：

滑轨，所述滑轨沿着所述门车中的前轮座和后轮座的连线方向设置，所述前轮座上设有的前轮和所述后轮座上设有的后轮滑动安装于所述滑轨。

10.根据权利要求9所述的真空设备，其特征在于，所述门车本体上设置有把手。