[实用新型]一种门车及真空设备

说明书

本实用新型提供一种门车及真空设备。门车用于与真空设备的腔室盖合，包括：门车本体，车架，前轮座、后轮座、第一连接组件以及第二连接组件；车架包括：本体安装部、前轮座安装部和后轮座安装部，前轮座安装部相对后轮座安装部靠近门车的重心；前轮座通过第一连接组件与前轮座安装部连接，第一连接组件包括第一压紧弹簧，第一压紧弹簧抵压在前轮座安装部和前轮座之间；后轮座通过第二连接组件与后轮座安装部连接，第二连接组件包括第二压紧弹簧，第二压紧弹簧抵压在后轮座安装部和后轮座之间，第一压紧弹簧的弹性模量大于第二压紧弹簧的弹性模量，以使门车本体水平。本实用新型的门车可改善重心偏移对门车安装的影响，改善真空设备的密封性能。

技术领域

本实用新型涉及工程机械技术领域，尤其涉及一种门车及真空设备。

背景技术

在工程机械技术领域中，真空设备(例如磁控溅射真空镀膜设备)的使用非常普遍。对于真空设备而言，门车是一个非常重要的组成部分，其用于密封真空设备中的腔室，许多情况下，门车的重心并不在几何中心处(或者对称中心处)，这时可以认为门车的重心(相对于理想情况)存在一定的偏移。由于重心的偏移，门车中会存在部分区域(其具体为远离重心的区域)相对于另外部分区域(其具体为靠近重心的区域)翘起的情况，这样会影响到门车在真空设备中的正常安装，并影响到真空设备的密封性能。

实用新型内容

本实用新型实施例提供一种门车及真空设备，以解决门车重心的偏移影响到门车在真空设备中的正常安装，并影响到真空设备的密封性能的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型是这样实现的：

一方面，本实用新型实施例提供一种门车，用于与真空设备的腔室盖合，所述门车包括：门车本体，车架，前轮座、后轮座、第一连接组件以及第二连接组件；

所述车架包括：本体安装部、前轮座安装部和后轮座安装部，所述前轮座安装部和所述后轮座安装部位于所述本体安装部的两侧，所述门车本体固定安装于所述本体安装部，所述前轮座安装部相对所述后轮座安装部靠近所述门车的重心；

所述前轮座通过所述第一连接组件与所述前轮座安装部连接，所述第一连接组件包括第一压紧弹簧，所述第一压紧弹簧抵压在所述前轮座安装部和所述前轮座之间；

所述后轮座通过所述第二连接组件与所述后轮座安装部连接，所述第二连接组件包括第二压紧弹簧，所述第二压紧弹簧抵压在所述后轮座安装部和所述后轮座之间，并且，所述第一压紧弹簧的弹性模量大于所述第二压紧弹簧的弹性模量，以使所述门车本体处于水平。

可选地，所述第一压紧弹簧为碟形弹簧，所述第二压紧弹簧为螺旋弹簧。

可选地，所述第一连接组件中包括多片第一压紧弹簧，所述多片第一压紧弹簧对合组合。

可选地，所述第一连接组件还包括：

第一连接件、第一紧固件和第三压紧弹簧；

所述第一连接件依次穿设于所述第一紧固件、所述第三压紧弹簧、所述前轮座安装部、所述第一压紧弹簧和所述前轮座，所述第三压紧弹簧抵压在所述第一紧固件和所述前轮座安装部之间，所述第一紧固件和所述前轮座均与所述

第一连接件连接。

可选地，所述第三压紧弹簧为碟形弹簧，所述第一连接组件中包括多片第三压紧弹簧，所述多片第三压紧弹簧对合组合。

可选地，所述第二连接组件还包括：

第二连接件、第二紧固件和第四压紧弹簧；

所述第二连接件依次穿设于所述第二紧固件、所述第四压紧弹簧、所述后轮座安装部、所述第二压紧弹簧和所述后轮座，所述第四压紧弹簧抵压在所述第二紧固件和所述后轮座安装部之间，所述第二紧固件和所述后轮座均与所述第二连接件连接。