[实用新型]一种用于晶圆片卡塞自动装盒子的搬运机构

权利要求书

1.一种用于晶圆片卡塞自动装盒子的搬运机构，该卡塞包括左右对称的框架本体，所述框架本体内部的两侧均设置有若干均布的第一卡板，所述框架本体前方开口的两侧均设置有第一翻边，所述第一翻边垂直所述第一卡板设置，所述框架本体的上端面设置有两个“﹃”型件，所述“﹃”型件的外侧均设置有第二翻边，所述第二翻边平行所述第一卡板设置；该盒子包括上壳体和下壳体，所述上壳体的一侧与所述下壳体的一侧通过合页转动连接，该盒子的两侧均设置有凹槽；所述搬运机构包括工作间，所述工作间内设置有开盒机构、第一货架、第二货架、第一机械手、第二机械手，所述第一机械手、第二机械手均移动设置在龙门架上，所述第一货架、第二货架分别设置在所述开盒机构的两侧，其特征在于：

所述开盒机构包括第一工作台，所述第一工作台上设置有用于放置所述盒子的旋转台，所述旋转台一侧设置有用于打开所述盒子的夹紧模组；所述夹紧模组包括与第二电机传动连接的转轴，所述转轴的两端均固定有摆臂组件，所述摆臂组件包括支撑臂，所述支撑臂的内侧沿其长度方向移动设置有伸缩臂，所述伸缩臂与所述支撑臂之间设置有缓冲件，所述伸缩臂的前端固定有安装座，所述安装座的内侧设置有沿所述盒子方向来回运动的压轮，所述压轮与第一气缸连接，所述支撑臂上端固定有沿所述安装座方向来回运动的第二气缸，所述安装座上端固定有所述第二气缸可以触及并推动的挡板，所述支撑臂上设置有可以检测所述盒子位置的对射光纤；

所述第一机械手、第二机械手均连接一夹手，所述夹手包括可与所述第一机械手或第二机械手连接的第一连接板，所述第一连接板内侧设置有两组并排设置的第一轴承座，所述每组第一轴承座之间均设置有第一丝杠组件，所述第一丝杠组件的丝杠螺母外设置有第一移动块，所述第一移动块的一侧固定有第一连接件，所述夹手还包括用于夹持所述卡塞的第一夹具，所述第一夹具包括左右对称的两个夹紧块，所述夹紧块通过所述第一连接件固定在所述第一移动块上。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆片卡塞自动装盒子的搬运机构，其特征在于：所述夹紧块包括侧夹块和平夹块，所述侧夹块的内侧设置有水平的且可以卡入所述第二翻边的第一卡槽，所述第一卡槽上方固定有所述平夹块，所述平夹块的内侧端设置有水平的且可以卡入所述“﹃”型件的第二卡槽，所述侧夹块对应所述第一翻边位置开设有竖直的第三卡槽，所述第三卡槽设置有倒角，所述平夹块的形状与所述凹槽的形状对应设置。

3.根据权利要求1所述的一种用于晶圆片卡塞自动装盒子的搬运机构，其特征在于：所述第一丝杠组件靠近所述第一连接板一侧均设置有第一导轨，所述第一移动块与所述第一导轨上的滑块固定设置。

4.根据权利要求1所述的一种用于晶圆片卡塞自动装盒子的搬运机构，其特征在于：所述转轴两端均设有一支撑，所述第二电机通过同步带与所述转轴传动连接，所述支撑与所述第二电机均设置在所述第一工作台上。

5.根据权利要求1所述的一种用于晶圆片卡塞自动装盒子的搬运机构，其特征在于：所述旋转台四周设置有若干可以通过伸缩夹住所述盒子的下壳体的夹爪。