[实用新型]多晶硅铸锭热场结构、多晶硅铸锭炉和多晶硅锭有效
申请号: | 201822270470.6 | 申请日: | 2018-12-29 |
公开(公告)号: | CN209468525U | 公开(公告)日: | 2019-10-08 |
发明(设计)人: | 李建敏;付志斌;周成;何亮 | 申请(专利权)人: | 赛维LDK太阳能高科技(新余)有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B28/06 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 郝传鑫;熊永强 |
地址: | 338004 *** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 坩埚 加热器 多晶硅铸锭 热场结构 护板 多晶硅铸锭炉 本实用新型 多晶硅锭 热交换台 隔热笼 热交换 多晶硅块 温度分布 坩埚截面 正N边形 不均匀 正整数 角部 对流 外围 | ||
1.一种多晶硅铸锭热场结构,其特征在于,包括坩埚、热交换台、护板、加热器和隔热笼,所述坩埚设于所述热交换台上,所述坩埚的外围依次套设所述护板和所述加热器,所述坩埚、所述热交换台、所述护板和所述加热器均设于所述隔热笼内,所述坩埚截面形状为正N边形,N为10-30的正整数。
2.如权利要求1所述的多晶硅铸锭热场结构,其特征在于,所述护板的截面形状包括正N边形或圆形,所述护板与所述坩埚之间的空隙填有石墨软毡。
3.如权利要求1所述的多晶硅铸锭热场结构,其特征在于,所述加热器的截面形状为正N边形或圆形。
4.如权利要求1所述的多晶硅铸锭热场结构,其特征在于,所述加热器包括顶部加热器和侧部加热器,所述顶部加热器设置在所述坩埚的顶部,所述侧部加热器设置在所述护板的外围,所述侧部加热器的外形呈圆柱形或正N棱柱形。
5.如权利要求1所述的多晶硅铸锭热场结构,其特征在于,所述坩埚、所述护板和所述加热器的截面形状均为正N边形。
6.如权利要求5所述的多晶硅铸锭热场结构,其特征在于,所述坩埚的侧壁和所述护板的侧壁相互平行,所述坩埚的侧壁和所述加热器的侧壁相互平行。
7.如权利要求1所述的多晶硅铸锭热场结构,其特征在于,所述坩埚和所述加热器的截面形状均为正N边形,所述护板的截面形状为圆形。
8.如权利要求1所述的多晶硅铸锭热场结构,其特征在于,所述多晶硅铸锭热场结构还包括用于遮盖所述坩埚的石墨盖板。
9.一种多晶硅铸锭炉,其特征在于,包括炉体,以及如权利要求1-8任意一项所述的多晶硅铸锭热场结构。
10.一种的多晶硅锭,其特征在于,所述多晶硅锭的截面形状为正N边形,N为10-30的正整数。
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