[实用新型]多晶硅铸锭热场结构、多晶硅铸锭炉和多晶硅锭有效
申请号: | 201822270470.6 | 申请日: | 2018-12-29 |
公开(公告)号: | CN209468525U | 公开(公告)日: | 2019-10-08 |
发明(设计)人: | 李建敏;付志斌;周成;何亮 | 申请(专利权)人: | 赛维LDK太阳能高科技(新余)有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B28/06 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 郝传鑫;熊永强 |
地址: | 338004 *** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 坩埚 加热器 多晶硅铸锭 热场结构 护板 多晶硅铸锭炉 本实用新型 多晶硅锭 热交换台 隔热笼 热交换 多晶硅块 温度分布 坩埚截面 正N边形 不均匀 正整数 角部 对流 外围 | ||
本实用新型提供了一种多晶硅铸锭热场结构,包括坩埚、热交换台、护板、加热器和隔热笼,所述坩埚设于所述热交换台上,所述坩埚的外围依次套设所述护板和所述加热器,所述坩埚、所述热交换台、所述护板和所述加热器均设于所述隔热笼内,所述坩埚截面形状为正N边形,N为10‑30的正整数。该多晶硅铸锭热场结构可以有效改善坩埚中角部的温度分布,避免热量不均匀致使对流不佳,大大提升制得的多晶硅块的质量。本实用新型还包括多晶硅铸锭炉和多晶硅锭。
技术领域
本实用新型涉及多晶硅锭技术领域,特别是涉及一种多晶硅铸锭热场结构、多晶硅铸锭炉和多晶硅锭。
背景技术
据统计,太阳电池产业是近几年发展最快的产业之一,并且在各种类型的太阳电池中,晶体硅太阳电池由于其转换效率高,技术成熟而继续保持领先地位。目前,晶体硅主要是通过现有多晶硅铸锭炉进行铸锭。
为保证取得硅块的数量最多,现有多晶硅铸锭炉采用方形结构,热场结构及加热器均为正方结构,所得硅锭即为方形。然而由于角部为垂直形状,硅液在角部对流产生死角,易产生杂质聚集,同时角部的升温降温控制更差,晶体生长更得不到有序控制,影响多晶硅块的质量。
因此,有必要开发一种能够有效制备高质量多晶硅的装置。
实用新型内容
有鉴于此,本实用新型提供了一种多晶硅铸锭热场结构、多晶硅铸锭炉和多晶硅锭;该多晶硅铸锭热场结构可以有效改善坩埚中角部的温度分布,避免热量不均匀致使对流不佳,大大提升制得的多晶硅的质量。
第一方面,本实用新型提供了一种多晶硅铸锭热场结构,包括坩埚、热交换台、护板、加热器和隔热笼,所述坩埚设于所述热交换台上,所述坩埚的外围依次套设所述护板和所述加热器,所述坩埚、所述热交换台、所述护板和所述加热器均设于所述隔热笼内,所述坩埚截面形状为正N边形,N为10-30的正整数。
可选地,所述护板的截面形状包括正N边形或圆形,其中,N为10-30的正整数,所述护板与所述坩埚之间的空隙填有石墨软毡。
可选地,所述加热器的截面形状为正N边形或圆形,其中,N为10-30的正整数。
可选地,所述加热器包括顶部加热器和侧部加热器,所述顶部加热器设置在所述坩埚的顶部,所述侧部加热器设置在所述护板的外围,所述侧部加热器的的外形呈圆柱形或正N棱柱形。
可选地,所述隔热笼由顶部隔热板、侧部隔热板和底部隔热板构成的热场腔室。
可选地,所述坩埚、所述护板和所述加热器的截面形状均为正N边形,N为10-30的正整数。
可选地,所述坩埚的侧壁和所述护板的侧壁相互平行,所述坩埚的侧壁和所述加热器的侧壁相互平行。
可选地,所述坩埚和所述加热器的截面形状均为正N边形,N为10-30的正整数,所述护板的截面形状为圆形。
可选地,所述顶部隔热板上设置有进气孔和出气孔。
可选地,所述隔热笼包括至少一层保温层。
可选地,所述多晶硅铸锭热场结构还包括用于遮盖所述坩埚的石墨盖板。
第二方面,本实用新型还提供了一种多晶硅铸锭炉,包括炉体,以及如本实用新型第一方面所述的多晶硅铸锭热场结构。
第三方面,本实用新型还提供了一种的多晶硅锭,所述多晶硅锭的截面形状为正N边形,N为10-30的正整数。
可选地,所述多晶硅锭由本实用新型第一方面所述的多晶硅铸锭热场结构制备得到或由本实用新型第二方面所述的多晶硅铸锭炉制备得到。
本实用新型有有益效果:
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