[实用新型]一种镀膜装置有效
申请号: | 201822274134.9 | 申请日: | 2018-12-30 |
公开(公告)号: | CN209602625U | 公开(公告)日: | 2019-11-08 |
发明(设计)人: | 王先玉 | 申请(专利权)人: | 浙江星星科技股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/50 |
代理公司: | 台州市方信知识产权代理有限公司 33263 | 代理人: | 魏谦 |
地址: | 318000 浙江省台*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 镀膜装置 旋转盘 定位夹具 安装框 工件安放 挡块 真空蒸发镀膜 本实用新型 定位工件 可拆卸的 可旋转的 凸出设置 放置孔 固连 壳体 空腔 嵌入 体内 贯穿 | ||
1.一种镀膜装置,包括内部具有空腔(1)的壳体(2),所述壳体(2)内的顶部设有可旋转的旋转盘(3),其特征在于,所述旋转盘(3)中具有若干个贯穿旋转盘(3)的安装框(4),所述安装框(4)中嵌入且可拆卸的固连有定位夹具(5),所述定位夹具(5)中具有若干个用于定位工件的放置孔(51),所述定位夹具(5)的侧部具有凸出设置的挡块(52),所述挡块(52)能抵靠在旋转盘(3)上且抵靠的位置位于安装框(4)的边沿处。
2.根据权利要求1所述的一种镀膜装置,其特征在于,所述定位夹具(5)包括盖板(53)和底板(54),所述盖板(53)和底板(54)可拆卸固连,所述盖板(53)上具有若干个贯穿的第一通孔(55),所述第一通孔(55)的边沿处具有凸出设置的环形凸沿(56),所述底板(54)上具有若干个贯穿的第二通孔(57),所述第一通孔(55)和第二通孔(57)一一对应设置,所述第二通孔(57)的内侧壁上具有第一环形台阶面(58),所述环形凸沿(56)能嵌入到第二通孔(57)中且所述环形凸沿(56)与第一环形台阶面(58)正对设置,所述环形凸沿(56)与第一环形台阶面(58)之间具有间隙,所述第一通孔(55)、环形凸沿(56)、第二通孔(57)和第一环形台阶面(58)形成所述放置孔(51)。
3.根据权利要求2所述的一种镀膜装置,其特征在于,所述第二通孔(57)的内侧壁上还具有第二环形台阶面(59),沿第二通孔(57)的径向,所述第二环形台阶面(59)位于第一环形台节面的内侧。
4.根据权利要求2所述的一种镀膜装置,其特征在于,所述第二通孔(57)的开口处具有倾斜设置的导向面(510),所述导向面(510)相对于第一环形台阶面(58)更加靠近盖板(53)。
5.根据权利要求2或3或4所述的一种镀膜装置,其特征在于,所述盖板(53)和底板(54)大小形状相同,所述挡块(52)位于底板(54)的侧部,所述盖板(53)嵌入到安装框(4)中。
6.根据权利要求2或3或4所述的一种镀膜装置,其特征在于,所述盖板(53)上具有若干个第一固定孔(511),所述底板(54)上具有若干个第二固定孔(512),所述第一固定孔(511)和第二固定孔(512)一一对应设置,通过紧固件穿过对应设置的第一固定孔(511)和第二固定孔(512)使盖板(53)和底板(54)可拆卸的相固连。
7.根据权利要求2或3或4所述的一种镀膜装置,其特征在于,所述底板(54)的两端均具有凸出设置的固定块(513),通过紧固件穿过所述固定块(513)与旋转盘(3)相固连使所述定位夹具(5)与旋转盘(3)可拆卸的相固连。
8.根据权利要求1或2或3或4所述的一种镀膜装置,其特征在于,所述旋转盘(3)包括呈正多边形的内板(31)和若干个外板(32),所述外板(32)内端的尺寸小于外板(32)外端的尺寸,所述外板(32)的内端与内板(31)相固连,所有外板(32)的外端相连后呈圆形。
9.根据权利要求8所述的一种镀膜装置,其特征在于,沿竖直方向,所述外板(32)的内端位于外板(32)外端的上方,所述外板(32)由内向外斜向下设置。
10.根据权利要求8所述的一种镀膜装置,其特征在于,所述外板(32)外端的两侧均具有向外延伸形成的延长部(33),所述内板(31)的外边、相邻两个外板(32)的两侧以及延长部(33)形成所述安装框(4),所述外板(32)中贯穿形成所述安装框(4)。
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