[实用新型]一种镀膜装置有效
申请号: | 201822274134.9 | 申请日: | 2018-12-30 |
公开(公告)号: | CN209602625U | 公开(公告)日: | 2019-11-08 |
发明(设计)人: | 王先玉 | 申请(专利权)人: | 浙江星星科技股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/50 |
代理公司: | 台州市方信知识产权代理有限公司 33263 | 代理人: | 魏谦 |
地址: | 318000 浙江省台*** | 国省代码: | 浙江;33 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 镀膜装置 旋转盘 定位夹具 安装框 工件安放 挡块 真空蒸发镀膜 本实用新型 定位工件 可拆卸的 可旋转的 凸出设置 放置孔 固连 壳体 空腔 嵌入 体内 贯穿 | ||
本实用新型提供了一种镀膜装置,属于真空蒸发镀膜技术领域。它解决了现有镀膜装置工件安放不便的问题。本镀膜装置包括内部具有空腔的壳体,壳体内的顶部设有可旋转的旋转盘,旋转盘中具有若干个贯穿旋转盘的安装框,安装框中嵌入且可拆卸的固连有定位夹具,定位夹具中具有若干个用于定位工件的放置孔,定位夹具的侧部具有凸出设置的挡块,挡块能抵靠在旋转盘上且抵靠的位置位于安装框的边沿处。本镀膜装置具有使工件安放方便的优点。
技术领域
本实用新型属于真空蒸发镀膜技术领域,涉及一种镀膜装置。
背景技术
真空蒸发镀膜,是一种由物理方法产生薄膜材料的技术,在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上。此项技术最先用于生产光学镜片,如航海望远镜镜片等,后延伸到其他功能薄膜、唱片镀铝、装饰镀膜和材料表面改性等。
真空蒸发镀膜时,需要使用到镀膜装置,例如中国专利文献资料公开的一种镀膜机[申请号:201220244520.3;授权公告号:CN202766611U],其包括真空腔室和设于真空腔室上部并由电机驱动旋转的镀膜伞,镀膜伞中心到边缘的不同半径的位置上设有工件放置孔,镀膜伞一侧中心到边缘的中间位置处下方设置有蒸发源,蒸发源和镀膜伞之间还设置有一橄榄形修正板,修正板的两端尖部分别位于镀膜伞中心和边缘的下方。
该种结构的镀膜机,通过设置修正板的位置,达到减少膜后误差,提高光学薄膜厚度均匀性的目的。但是该种结构的镀膜机,镀膜伞中心到边缘的不同半径的位置上设有工件放置孔,安放工件时,操作者需要等到工件镀膜结束后,再带着工件进入到真空腔室中,并逐个的将工件安装放置到工件放置孔中,操作不便,工作效率低,而且由于镀膜伞的高度一般较高,人们安装工件时,操作不便,再次降低工作效率。
发明内容
本实用新型的目的是针对现有技术中存在的上述问题,提出了一种镀膜装置,解决的技术问题是如何使工件安放方便,提高工作效率。
本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现:一种镀膜装置,包括内部具有空腔的壳体,所述壳体内的顶部设有可旋转的旋转盘,其特征在于,所述旋转盘中具有若干个贯穿旋转盘的安装框,所述安装框中嵌入且可拆卸的固连有定位夹具,所述定位夹具中具有若干个用于定位工件的放置孔,所述定位夹具的侧部具有凸出设置的挡块,所述挡块能抵靠在旋转盘上且抵靠的位置位于安装框的边沿处。
本镀膜装置可以设置两套定位夹具,其中一套定位夹具在壳体中进行加工时,操作者可以将工件事先安放到另外一套定位夹具中,定位夹具中具有多个放置孔,即每个定位夹具中均事先可以安放多个工件,等壳体中的工件加工完成后,操作者可以将两套定位夹具进行更换即可,相对于将工件逐个的安放到旋转盘中,通过定位夹具进行安装,需要安装的数量少,使操作者可以快速的完成定位夹具的更换,即完成工件的安放,工件安放方便,节约时间,从而提高工作效率。
在上述的一种镀膜装置中,所述定位夹具包括盖板和底板,所述盖板和底板可拆卸固连,所述盖板上具有若干个贯穿的第一通孔,所述第一通孔的边沿处具有凸出设置的环形凸沿,所述底板上具有若干个贯穿的第二通孔,所述第一通孔和第二通孔一一对应设置,所述第二通孔的内侧壁上具有第一环形台阶面,所述环形凸沿能嵌入到第二通孔中且所述环形凸沿与第一环形台阶面正对设置,所述环形凸沿与第一环形台阶面之间具有间隙,所述第一通孔、环形凸沿、第二通孔和第一环形台阶面形成所述放置孔。定位夹具分成两个部分,在安放工件时,先将盖板和底板打开,操作者将工件逐个的放置在第二通孔中,使工件的边沿抵靠在第一环形台阶面上,然后盖上盖板,使环形凸沿嵌入到第二通孔中,使环形凸沿配合第一环形台阶面对工件进行定位,环形凸沿与第一环形台阶面之间具有间隙,该间隙供工件的边沿嵌入,且该间隙的尺寸大于工件边沿的厚度,工件在生产加工的过程中不会脱落,从而减少不必要的更换工件带来的麻烦,使工件安放方便,提高加工效率。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江星星科技股份有限公司,未经浙江星星科技股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201822274134.9/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:线性蒸镀设备用晶振控制系统
- 下一篇:一次性往返双面蒸镀镀膜设备卷绕系统结构
- 同类专利
- 专利分类