[实用新型]基于缺陷地结构共面波导的激光器有效
| 申请号： | 201822274742.X | 申请日： | 2018-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN209249654U | 公开（公告）日： | 2019-08-13 |
| 发明（设计）人： | 王建坤;黄永光;阚强 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | H01P3/10 | 分类号： | H01P3/10;H01S5/022 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周天宇 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 缺陷地结构 激光器 共面波导 镀金层 介质层 下表面 信号线 本实用新型 正极连接 中间设置 上表面 地线 | ||
1.一种基于缺陷地结构共面波导的激光器，其特征在于，包括：
介质层(1)；
下表面镀金层(2)，设置在所述介质层(1)的下表面；
上表面镀金层(3)，设置在所述介质层(1)的上表面，所述上表面镀金层(3)的中间设置为信号线(4)，所述信号线(4)两侧设置有缺陷地结构(5)；
激光器(6)，设置在所述信号线(4)的末端，所述激光器(6)的正极连接至所述缺陷地结构(5)。
2.根据权利要求1所述的基于缺陷地结构共面波导的激光器，其中，所述缺陷地结构(5)的传输阻带的位置、宽度和深度在第一预设范围之内。
3.根据权利要求1所述的基于缺陷地结构共面波导的激光器，其中，所述缺陷地结构(5)的缺陷形状为方形、半圆形或螺旋状。
4.根据权利要求1所述的基于缺陷地结构共面波导的激光器，其中，所述信号线(4)与其两侧的所述上表面镀金层(3)之间的距离在第二预设范围之内。
5.根据权利要求1所述的基于缺陷地结构共面波导的激光器，其中，所述激光器(6)焊接在所述信号线(4)的末端，所述激光器(6)的正极通过金丝键合连接至所述缺陷地结构(5)。
6.根据权利要求1所述的基于缺陷地结构共面波导的激光器，其中，所述下表面镀金层(2)和上表面镀金层(3)的溅射结构依次为粘附层、阻挡层和导带层，所述粘附层的材料为TiW或Ti，所述阻挡层的材料为Ni，所述导带层的材料为Au。
7.根据权利要求6所述的基于缺陷地结构共面波导的激光器，其中，所述粘附层的厚度为800-1200埃，所述阻挡层的厚度为1000-2000埃，所述导带层的厚度为500-1000埃。
8.根据权利要求1所述的基于缺陷地结构共面波导的激光器，其中，所述下表面镀金层(2)和上表面镀金层(3)的电镀材料为Au，所述电镀材料的厚度为3-5μm。
9.根据权利要求1所述的基于缺陷地结构共面波导的激光器，其中，所述介质层(1)的材料为AlN或Al2O3。
10.根据权利要求1所述的基于缺陷地结构共面波导的激光器，其中，所述激光器为分布反馈激光器。
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