[实用新型]MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201822278387.3 | 申请日： | 2018-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN209897223U | 公开（公告）日： | 2020-01-03 |
| 发明（设计）人： | 孟珍奎;刘政谚 | 申请（专利权）人： | 瑞声科技(新加坡)有限公司 |
| 主分类号： | H04R1/08 | 分类号： | H04R1/08;H04R7/08 |
| 代理公司： | 44298 广东广和律师事务所 | 代理人： | 陈巍巍 |
| 地址： | 新加坡卡文迪*** | 国省代码： | 新加坡;SG |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 振膜 支撑件 背板 电容系统 绝缘间隙 一端连接 圆心 基底 通孔 偏转 本实用新型 整体灵敏度 背板间隔 背板两侧 信噪比 背腔 贯穿 | ||
1.一种MEMS麦克风，包括具有背腔的基底以及设于所述基底上的电容系统，所述电容系统包括背板以及与所述背板相对且设置在所述背板一侧的第一振膜、设置于所述背板另一侧的第二振膜，所述第一振膜和第二振膜与背板间隔设置并分别形成第一绝缘间隙和第二绝缘间隙，所述背板开设有若干个通孔，其特征在于：所述第一振膜和所述第二振膜为圆形，所述MEMS麦克风还包括贯穿所述通孔设置于所述第一振膜与所述第二振膜之间的第一支撑件，所述第一支撑件的一端连接于所述第一振膜的圆心，另一端连接于所述第二振膜的圆心。
2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述MEMS麦克风还包括至少两个贯穿所述通孔设置于所述第一振膜与所述第二振膜之间的第二支撑件，至少两个所述第二支撑件均匀设置于以所述第一支撑件为圆心的圆周上。
3.根据权利要求2所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述第一支撑件和/或所述第二支撑件为圆柱结构。
4.根据权利要求3所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述第一支撑件和/或所述第二支撑件不与所述背板接触。
5.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述背板的上、下表面设有若干凸起，所述凸起用于防止所述第一振膜、所述第二振膜与所述背板发生粘附。
6.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，还包括设置在所述基底表面的绝缘层,所述电容系统通过该绝缘层与所述基底相连。
7.根据权利要求6所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述背腔贯通所述基底以及所述绝缘层。
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