[发明专利]配备利用垂直面蒸发源的高清晰AMOLED元件的集群量产设备

权利要求书

1.一种利用垂直面蒸发源的高清晰AMOLED元件集群量产设备，其特征在于，其由基片传送箱(61)；具备垂直面蒸发源(20)与有机物粉末蒸发源(30)的面蒸镀箱(62)；面资源FMM蒸镀箱(63)；冷却箱(64)；掩模保管箱(65)；基片卸载箱(66)；以及具备与各箱体相连接的机器人箱(60)的六角形模块(100)构成，并在基片(10)上蒸镀细微图案薄膜。

2.如权利要求1所述的利用垂直面蒸发源的高清晰AMOLED元件集群量产设备，其特征在于，

上述面蒸镀箱(62)，

具备双垂直面蒸镀箱，同时各箱体内至少有2个垂直有机物粉末蒸发源(30)通过左右或上下运动进行扫描或按一定角度旋转后左右或上下运动进行扫描且至少向2个以上垂直面蒸发源(20)轮流蒸镀有机薄膜(22)。

3.如权利要求1所述的利用垂直面蒸发源的高清晰AMOLED元件集群量产设备，其特征在于，

上述面蒸镀箱(62)，

上述垂直有机物粉末蒸发源(30)通过左右或上下运动进行扫描或按一定角度旋转后左右或上下运动进行扫描而在上述垂直面蒸发源(20)的金属面板(S)上蒸镀有机薄膜(22)。

4.如权利要求1所述的利用垂直面蒸发源的高清晰AMOLED元件集群量产设备，其特征在于，

上述面蒸镀箱(62)，

上述垂直面蒸发源(20)与垂直有机物粉末蒸发源(30)垂直相对并且由上述垂直有机物粉末蒸发源(30)喷射的有机气体水平飞行而在上述垂直面蒸发源(20)的金属面板(S)上蒸镀为有机薄膜。

5.如权利要求1所述的利用垂直面蒸发源的高清晰AMOLED元件集群量产设备，其特征在于，

上述垂直有机物粉末蒸发源(30)，

包括蒸发源坩埚(34)；

形成于上述蒸发源坩埚(34)侧面上下或左右的多个蒸发喷嘴(31)；

连接于上述蒸发源坩埚(34)下侧并盛有有机物粉末(P)的有机物储存坩埚(35)；

置于上述有机物储存坩埚(35)顶部的有机物储存盖(36)；及

环绕上述蒸发源坩埚(34)、有机物储存坩埚(35)和有机物储存盖(35)外侧的加热线(32)。

6.如权利要求5所述的利用垂直面蒸发源的高清晰AMOLED元件集群量产设备，其特征在于，

上述蒸发源坩埚(34)、有机物储存坩埚(35)及有机物储存盖(36)通过第1连接法兰(37)及第2连接法兰(38)相连接并支持分解组装。

7.如权利要求5所述的利用垂直面蒸发源的高清晰AMOLED元件集群量产设备，其特征在于，

上述蒸发喷嘴(31)安装有防止有机气体外泄的自动开关式盖帽。

8.如权利要求5所述的利用垂直面蒸发源的高清晰AMOLED元件集群量产设备，其特征在于，

上述蒸发喷嘴(31)形成于与上述蒸发源坩埚(34)相对应的两侧并在与上述垂直有机物粉末蒸发源(30)的两侧面相隔一定间距的两个面蒸发源(20)的金属面板上同时蒸镀有机薄膜(22)。

9.如权利要求5所述的利用垂直面蒸发源的高清晰AMOLED元件集群量产设备，其特征在于，

上述加热线(32)的外侧形成有覆盖除上述蒸发喷嘴(31)喷射口以外的整个蒸发源外表面的蒸发源外罩(33)。

10.如权利要求1所述的利用垂直面蒸发源的高清晰AMOLED元件集群量产设备，其特征在于，

上述面蒸镀箱(62)内具备多个垂直有机物粉末蒸发源(30)和多个垂直面蒸发源(20)。