[发明专利]平面度测定方法以及销高度调整方法

权利要求书

1.一种平面度测定方法，将水平方向的配置为已知且垂直延伸的大量的销的上端的高度方向的位置的不同作为该大量的销的前端所构成的假想面的平面度进行测定，其特征在于，

所述平面度测定方法是使用测定单元的方法，所述测定单元包括具有平坦的上表面及下表面且厚度均匀的测定板和安装于测定板之上的水平仪，

所述平面度测定方法是包括三点测定步骤的方法，在所述三点测定步骤中，选择大量的销中的相邻的三根销，在使测定单元载置于选择出的三根销之上的状态下，通过水平仪对正交的两个水平方向上的测定板的倾斜进行测定，

所述平面度测定方法是通过依次对各三根销进行三点测定步骤来测定平面度的方法，

第二次以后的三点测定步骤是重复选择此前选择过的销中的一根而进行测定的步骤，

所述平面度测定方法是通过依次进行三点测定步骤而针对所有的销通过水平仪对测定板的倾斜进行测定的方法，

所述平面度测定方法包括：根据各三点测定步骤中的所述两个水平方向上的测定板的倾斜，来算出上端处于最高的位置的销与上端处于最低的位置的销之间的高度的差异的步骤。

2.一种销高度调整方法，在具备基盘和安装于基盘的上表面且向垂直上方延伸的大量的销，且能够调整各销的突出高度的销单元中，对各销从基盘突出的突出高度进行调整，

其特征在于，包括：

平面度测定工序，将大量的销的上端的高度方向的位置的不同作为该大量的销的前端所构成的假想面的平面度进行测定；和

调整工序，按照平面度测定工序中的平面度的测定结果，来对各销的突出高度进行调整，

平面度测定工序是使用测定单元的工序，所述测定单元包含具有平坦的上表面和下表面且厚度均匀的测定板和安装于测定板之上的水平仪，平面度测定工序是包括三点测定步骤的工序，在所述三点测定步骤中，选择大量的销中的相邻的三根销，在使测定单元载置于选择出的三根销之上的状态下，通过水平仪对正交的两个水平方向上的测定板的倾斜进行测定，

平面度测定工序是通过依次对各三根销进行三点测定步骤来测定平面度的工序，

第二次以后的三点测定步骤是重复选择此前选择过的销中的一根而进行测定的步骤，

平面度测定工序是通过依次进行三点测定步骤而针对所有的销通过水平仪对测定板的倾斜进行测定的工序，

平面度测定工序包括：根据各三点测定步骤中的所述两个水平方向上的测定板的倾斜，来算出上端处于最高的位置的销与上端处于最低的位置的销之间的高度的差异的步骤，

调整工序是以使平面度测定工序中所测定出的高度的差异变小的方式对各销的突出高度进行调整的方法。

3.根据权利要求2所述的销高度调整方法，其特征在于，

所述调整工序是在所述基盘与所述销之间夹设垫片的工序，且是按照所述平面度测定工序中的测定结果来选择垫片的厚度的工序。

4.根据权利要求2或3所述的销高度调整方法，其特征在于，

在进行了所述调整工序后，再次进行所述平面度测定工序，对各销的上端的高度的差异是否进入了一定的范围内进行判断，若未进入所述一定的范围内，则再次进行所述调整工序，所述一定的范围是平面度的要求精度。